Wafer and chip inspection / measurement
For you we find customized solutions for non-contact optical inspection of wafers, probe cards, dies and microchip components. For this purpose, we offer systems for layer thickness measurement, contact inspection, electrical characterization, probe head positioning, sample manipulation and metrology of wafer microstructures in the nanometer range.
EUV know-howMaterialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit | bis 10 Mio. ZyklenLuftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit | 5 NanometerUnd noch höhere Präzision für sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen
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Reinraumsysteme bis ISO Klasse 1
Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 1.
Mehr zur SerienentwicklungVakuum-Standardachsen bis 10-12
Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand.
Zu den Vakuum-StandardachsenIndividuelle Lebensdauertestss
Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors.
Mehr zu Test und Messung