Halbleiterpositionierung

Präzise Positioniersysteme und Stages für die Inspektion von Halbleitern.
Verfügbar bis Reinraumklasse ISO 2, für HV / UHV und EUV-Strahlung.

Wafer und Chip Inspektion

Für Sie finden wir kundenspezifische Lösungen für die berührungslose optische Inspektion von Wafern, Probe Cards, Dies und Mikrochipkomponenten. Hierzu bieten wir Systeme zur Schichtdickenmessung, Kontaktierungsprüfung, elektrische Charakterisierung, Messkopfpositionierung, Probenmanipulation und Vermessung von Wafer-Mikrostrukturen im Nanometerbereich.

Technische Möglichkeiten im Überblick:

Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Achsen
Sicherheitskonzept und -technik
Individueller Aufbau mit Gestell, Umhausung, Einbindung in die Fab
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

EUV know-how

Materialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit

bis 10 Mio. Zyklen

Luftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit

5 Nanometer

Und noch höhere Präzisionfür sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen

Kundenspezifische Positioniersysteme

XYZ Positioniersystem für die Wafer-Inspektion bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO 6) | Hub 305 x 305 x 200 mm … Modulares XYZ Positioniersystem für die Waferinspektion Dieses Inspektionssystem besteht aus der...

XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200 mm — XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200… Hochstabile berührungslose optische Vermessung Diese XY-Kombination verfügt über eine separate...

2X-Y-Ys (XYZ) Positioniersystem für die Wafer-Inspektion / Raman-Spektroskopie bis 12"/ Panel (Reinraum ISO 4) | Hub 400 x 400 mm — 2X-Y-Ys (XYZ) Positioniersystem für die Wafer-Inspektion / Raman-Spektroskopie bis 12"/ Panel (Reinraum ISO 4) |… Das 2X-Y-Ys(Z) Positioniersystem ermöglicht hochauflösende Bewegungen in XYZ für Proben bis 400 x...

6-Achs Halbleiter Inspektion Positioniersystem (Reinraum Klasse ISO 4) | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360° … 6-Achs-Positionierung für Halbleiter Dieses 6-Achsen-Positioniersystem ermöglicht präzise und...

Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x 720 x 100 mm — Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x… Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12" Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720 mm...

XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 1200 x 1400 x 200 mm — XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 1200 x 1400 x… µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität bei der Messung Der Gantryaufbau ermöglicht...

XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x 100 mm — XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x… Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit großer Probenauflage Dieses Inspektionssystem ist...

XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub 720 x 720 x 100 mm … Hochpräzise Qualitätssicherung für Reinraumanwendungen Dieses Inspektionssystem (hier ohne...

XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo … Hochpräzise automatische 3D Inspektion von Halbleitern Dieses 3-Achs-Positioniersystem bewegt eine...

X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5) | Drehachse und Lineartisch — X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5) | Drehachse und… Hochpräzise linear-rotatorische Positionierung Dieses X Phi System erlaubt die Positionierung von...

XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2) Universelles 4-achs-Granitportal mit Reinraumgehäuse Dieses XYZ Phi Positioniersystem lässt sich...

Inspektionssystem für Solar-Wafer Positionierung eines Wafers mit Vakuumchuck Mit einem KT305-EDLM und einer darauf befindlichen...

Mehrachssysteme

MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm Rx Ry 4° | hohe Last bis 10 kg — MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm… Kardan auf XY Stage mit Apertur Dieser XY Phi Delta Aligner besteht aus drei zwei vertikal...

MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm — MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150… Kompakter XYZ-Versteller für Proben bis 5" Dieses XYZ System erlaubt die Positionierung eines...

6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360° — 6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod… 6-Achs-Ausrichtung von Wafern und Optiken bis 12" Der 6-Achs-Manipulator besteht aus einem...

MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5° … Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb Mit diesem Aligner werden zwei translative...

XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100 mm — XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100… Universelles XYZ Positioniersystem für präzise Positionieraufgaben Der kundenspezifische...

XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo | Hub 500 x 700 x 100 mm… Hochgeschwindigkeits-Mehrachs-Gantry-System Dieses vielfältig adaptierbare Gantry für die...

XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x 600 x 100 x 100 mm — XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x… Gantry mit Apertur und beidseitigen Sensor-Positionierern Dieses XYZ-Gantry erlaubt hochpräzise...

XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb, Riemen, Schrittmotor — XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb,… Hochstabiles AFM-Luftlagergantry mit großen Verfahrwegen Dieses sehr steife XYZ Gantry ist...

XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 300 x 300 mm x 360° — XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi Zahnriemen, DC-Motor |… Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6" Das XY Phi Positioniersystem besteht aus...

XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 450 x 350 x 16 mm x 45° — XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle,… Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6" Das XYZ Phi Positioniersystem besteht aus...

XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360° … Hochgenaue Positionierung für Proben bis 150 mm / 6" Das System besteht aus zwei Lineartischen...

Standard Achsen & Tische

PLT165-SM Hochlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 100 - 500 mm, Repro ± 3.9 µm, Last 25 kg, Speed 80 mm/s...

PMT160-DC Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 1.7 µm, Last 4,5 kg, Speed 60...

PMT160-SM Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 1.9 µm, Last 15 kg, Speed 20...

DT200-DC - Drehtische — DT200-DC Flacher Drehtisch (DC-Motor), Hub n x 360°, Apertur ⌀ 66 mm, Repro ± 0.004°, Last 6.8 kg, Speed...

KT470-SM Hochlast XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 308 x 308 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 23 kg, Speed...

KT405-EDLM Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 320 x 320 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 150 mm/s ...

DT155-NM Hochauflösender Drehtisch (Piezo Motor), Hub n x 360°, Apertur ⌀ 79 mm / 3“, Repro ± 0.0003°, Last...

Vakuum / Reinraum

MT53-PM Miniatur Lineartisch 53 x 53 x 20 mm, HV / UHV / DUV / EUV, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.8 kg,...

DT310 Flacher Apertur Drehtisch HV, DUV / EUV, Reinraum ISO 5, n x 360°, Repro 0.004°, Speed 59°/s, Last...

KDT310-SM-HV Präziser Schwerlast-Kreuztisch HV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub 100 x 100 mm, Repro bis 0.7 µm, Speed...

DT155 Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep...

HDT255 Durchlicht-Hubtisch UHV, DUV / EUV, ISO 6, Hub 16 mm, Repro 0.7 µm, 10 kg Last, Speed 16 mm/s ...

KT106/170-SM XY-Proben-Stage HV, UV / DUV, ISO 4, Hub 136 x 170 mm, Repro 0.6 µm, Last 5 kg, Speed 20 mm/s ...

KDT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 40 mm Apertur, 0.3 µm...

KT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 3 kg...

MT130 EUV Miniatur Lineartisch 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, Hub bis 50 mm, Repro 2.3 µm,...

LT300 Präziser Hochlast Lineartisch HV / UHV / EUV, ISO 4, 50 - 100 mm Verfahrweg, 0.5 µm...

LA170 Präzise Schwerlast XYZ Linearachse HV / UHV / EUV, 60 - 130 mm Verfahrweg, 0.5 µm...

LA97 Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg...

LA95 Präzisions-Linearachse HV / UHV / UV / DUV, ISO 4, Hub 10 - 185 mm, Repro 0.4 µm, Last 4.5 kg,...

LA85 Fokus-Linearachse HV / DUV, Reinraum ISO 6, Hub 25 - 50 mm, Repro 1.6 µm, Speed 60 mm/s, Last 4 kg...

DT230-SM Hochauflösender, stabiler Apertur-Drehtisch UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Repro...

LA80 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, ISO 4, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm...

XYZ Transfer Stage Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm...

3LT300 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme — 3LT300 XYZ-Manipulator Dieser 3-Achs-Manipulator ist für das Ultrahochvakuum konzipiert. Er verfügt über...

Kugel- und Gleitgewindetriebe

KGT 1112 Anschluss-Gewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

GGT M4x1P0.5 Reinraum ISO3, bis 10E-11 mbar, Länge 112 mm, 0.1 mm Steigung, 0.002 kN Last ...

KGT 1214 Zylindermutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

KGT 1412 / 1432 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

KGT 1510 Federverspannte Anschlussgewinde-Doppelmutter mit 2-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

KGT 2422 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung, zweigängig ...

KGT ETA+ Energieeffiziente Kugelgewindetriebe ETA+ mit reduzierter Reibung und hoher Steifigkeit ...

KGT 1416 Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt

KGT 2412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung ...

Individuelle Anpassung und Entwicklung Ihrer Innovaiton

Optimale Positionierlösung für Ihre Anwendung mit einem schnellen, kostenfreien 3D-Entwurf
Design von Funktionsmustern, Prototypen bis zur Serie
Integrierte Entwicklung Ihrer Mechanik, Elektronik und Software
Serienfertigung Ihrer Innovation auf > 3.900 m² Produktionsfläche

Mehr zur Serienentwicklung

Anpassung an Ihre spezifischen Prozessbedürfnisse

Reinraumsysteme bis ISO 2

Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 2.

Mehr zur Serienentwicklung

Vakuum-Standardachsen bis 10^-12

Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand.

Zu den Vakuum-Standardachsen

Individuelle Lebensdauertestss

Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors.

Mehr zu Test und Messung