Waferinspektion und -vermessung

Für Sie finden wir kundenspezifische Lösungen für die berührungslose optische Inspektion von Wafern, Probe Cards, Dies und Mikrochipkomponenten. Hierzu bieten wir Systeme zur Schichtdickenmessung, Kontaktierungsprüfung, elektrische Charakterisierung, Messkopfpositionierung, Probenmanipulation und Vermessung von Wafer-Mikrostrukturen im Nanometerbereich.


OEM-Positioniersysteme

Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x 720 x 100 mm - Inspektion und Mikroskopie
Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm... Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12" Das...
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x 100 mm - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B.... Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit...
XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub 720 x 720 x 100 mm - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub... Hochpräzise Qualitätssicherung für...
XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 800 x 1300 x 200 mm - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen,... µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität...
XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200 mm - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards... Hochstabile berührungslose optische Vermessung ...
XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb,... Hochpräzise automatische 3D Inspektion von...
X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5) | Drehachse und Lineartisch - Inspektion und Mikroskopie
X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5)... Hochpräzise linear-rotatorische Positionierung...
XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2) - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2) ... Universelles 4-achs-Granitportal mit...
Inspektionssystem für Solar-Wafer | Hub 170 x 170 mm x 360° - Inspektion und Mikroskopie
Inspektionssystem für Solar-Wafer | Hub 170 x 170 mm x 360° ... Positionierung eines Wafers mit Vakuumchuck Mit...

Mehrachssysteme

YX-2Z Modulares High Speed Gantry | XY Linearmotor, Linearmessystem | 2x Z Kugelgewindetrieb, Motorencoder | Hub 500 x 570 x 100 mm - Gantries
YX-2Z Modulares High Speed Gantry | XY Linearmotor, Linearmessystem | 2x Z... Modulares, skalierbares XYZ Gantry-System Das...
YX-2Z Modular High Speed Gantry | XY linear motor, linear scale | 2x Z ball screw, motor encoder | travel 500 x 570 x 100 mm - Gantries
YX-2Z Modular High Speed Gantry | XY linear motor, linear scale | 2x Z ball screw, motor... Modular, scalable XYZ Gantry System The modular...
MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm - Kompakte Mehrachssysteme
MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb,... Kompakter XYZ-Versteller für Proben bis 5" Dieses...
XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100 mm - Gantries
XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor,... Universelles XYZ Positioniersystem für präzise...
XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo | Hub 500 x 700 x 100 mm - Gantries
XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo... Hochgeschwindigkeits-Mehrachs-Gantry-System Dieses...
XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x 600 x 100 x 100 mm - Gantries
XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z... Gantry mit Apertur und beidseitigen...
XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb, Riemen, Schrittmotor - Gantries
XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm |... Hochstabiles AFM-Luftlagergantry mit großen...

Vakuum / Reinraum

LT300 - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische
LT300 Präziser Hochlast Lineartisch HV / UHV / EUV, 50 -...
LA170 - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische
LA170 Präzise Schwerlast XYZ Linearachse HV / UHV / EUV,...
LA97 - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische
LA97 Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm...
DT155 - Vakuum / Reinraum Drehtische
DT155 Flexibel konfigurierbar: Hochdynamischer Drehtisch...
HDT255 - Vakuum / Reinraum Hubtische
HDT255 Hochlast-Durchlicht-Hubtisch HV / UHV / EUV, 16 mm...
KDT105 - Vakuum / Reinraum Kreuztische
KDT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm...
LA80 - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische
LA80 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, 200 - 500...
XYZ-Transportachse - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
XYZ-Transportachse Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV /...
3LT300 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
3LT300 XYZ-Manipulator Dieser 3-Achs-Manipulator ist für...

Standardsysteme

PLT165-SM -
PLT165-SM Lineartisch mit schmaler Bauform und leicht...
PMT160-DC -
PMT160-DC Hochpräziser Lineartisch mit 160 mm Breite....
PMT160-SM -
PMT160-SM Hochpräziser Lineartisch mit 160 mm Breite....
DT200-DC - Inspektion und Mikroskopie
DT200-DC Drehtisch mit sehr flacher Bauform, somit...
KT405-EDLM -
KT405-EDLM Hochpräziser Scantisch mit 320 mm Verfahrweg, 0.3...

Gewindetriebe

KGT 1112 -
KGT 1112 Anschluss-Gewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und...
Gewindetrieb M4x1 P 0,5 -
Gewindetrieb M4x1 P 0,5 Stahlgewindespindel spielarm gepaart mit...
KGT 1412 -
KGT 1412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und...