Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

Je nach Applikation bieten wir Ihnen Lineartische mit einer Vielzahl an unterschiedlichen Antrieben und Führungen für Restdrücke bis 10-6mbar - oder noch besser - an. Innerhalb einer Serie lassen sich die modularen Lineartische einfach miteinander kombinieren.

MT53-PM

MT53-PM
Miniatur Lineartisch 53 x 53 x 20 mm, HV / UHV / DUV / EUV, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.8 kg, Speed 7.5...

MT85-PM

MT85-PM
Präzisions-Miniatur-Lineartisch 114 x 97 x 28 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 25 - 50 mm, Repro 0.2 µm, Last...

MDT85-PM

MDT85-PM
Apertur-Miniatur-Lineartisch 114 x 84 x 28 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 1.5 kg,...

MT105

MT105
Konfigurierbarer Mikrotisch HV / UHV / EUV, 30 - 100 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last ...

MT130

MT130
EUV Miniatur Lineartisch 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, Hub bis 50 mm, Repro 2.3 µm, Last 9 kg,...

LT300

LT300
Präziser Hochlast Lineartisch HV / UHV / EUV, ISO 4, 50 - 100 mm Verfahrweg, 0.5 µm Wiederholgenauigkeit, 10...

LA170

LA170
Präzise Schwerlast XYZ Linearachse HV / UHV / EUV, 60 - 130 mm Verfahrweg, 0.5 µm Wiederholgenauigkeit, 20...

PLT240

PLT240
Präzise Hochlast-Linear-Stage HV / UV / DUV, ISO 6, Hub 50 - 850 mm, Last 100 kg, Repro 0.4 µm, Breite 240 ...

LA97

LA97
Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg Last ...

LA105

LA105
Linear- mit Piezo-Offset-Stage HV / UV / DUV, ISO 3, Hub 7 - 100 mm, Last 3 kg, Repro ± 0.002 µm, Breite 105...

LA95

LA95
Präzisions-Linearachse HV / UHV / UV / DUV, ISO 4,  Hub 10 - 185 mm, Repro 0.4 µm, Last 4.5 kg, Speed 8.4...

LA92

LA92
High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, ISO 4, 40 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 2 kg Last ...

LA85

LA85
Fokus-Linearachse HV / DUV, Reinraum ISO 6, Hub 25 - 50 mm, Repro 1.6 µm, Speed 60 mm/s, Last 4 kg ...

LA80

LA80
High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, ISO 4, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg...

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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