Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

In unserem Repertoire finden Sie komplexe Experimentalsysteme und Kombinationen von Standardachsen als Mehrachsmanipulatoren. Die hier gezeigten Systeme stehen als Beispiele für denkbare Kombinationen unserer Vakuumtische.

Kameramanipulator

Kameramanipulator (RICXS) - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
Die Herausforderung bei der Realisierung dieses Systems war die Kombination aus großen Lasten, starken...

XYZ-Transportachse

XYZ-Transportachse - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm Wiederholgenauigkeit, 5...

2LA95

2LA95 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
XZ-System mit Piezobremse (UHV) Dieses 2-Achs-System mit Verfahrwegen von 7 x 7 mm. Das System ist...

3LA170

3LA170 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
Schwerlast XYZ-System (UHV) 3-Achs-Manipulator für Lasten bis 20 kg im Vakuum. Schrittmotorantrieb mit...

3-Achs-Strahljustage

3-Achs-Strahljustage - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
XYZ-System Diese Baugruppe basiert auf einem Mikrotisch MT53 mit Piezoantrieb. Zwei dieser Tische bilden...

3LA95

3LA95 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
XYZ-System mit Piezobremse (UHV) Dieses 3-Achs-System mit Verfahrwegen von 5 x 20 x 10 mm ist für Lasten bis...

Probenmanipulator

Probenmanipulator - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
Hier arbeiten 12 Piezomotoren in Paaren und realisieren einen kartesischen Probenmanipulator mit 6...

LA97-2MT85

LA97-2MT85 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
Ein UHV 3-Achs-System in magnetfreier Ausführung. Die Verfahrwege liegen bei 200 mm für die X-Bewegung und...

UHV Probenfixierung

UHV Probenfixierung - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
Um den Probenmanipulator beim Wechseln der Proben nicht zu beschädigen, wurde dieser Probenhalter...

PLT240-2HT160

PLT240-2HT160 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
Linearachse mit zwei Hubeinheiten Eine Linearachse PLT240 mit Kugelgewindetrieb und Vakuum-Schrittmotor ist...

3LT300

3LT300 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
XYZ-Manipulator Dieser 3-Achs-Manipulator ist für das Ultrahochvakuum konzipiert. Er verfügt über...

KT120

KT120 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
nichtmagnetischer Kreuztisch Ein Standard-Kreuztisch mit Piezomotoren und 10 mm Hub und einer Auflösung von...

2PLT240-HT160

2PLT240-HT160 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
XYZ-System für das Hochvakuum Vakuum-Positioniersystem für Lasten bis 15 kg. Kugelgewindetriebe in den...

2DT150 Koaxial

2DT150 Koaxial - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
Koaxial Drehtisch mit zwei Rotationen und Längsbewegung (UHV) Diese exotische UHV-Baugruppe kombiniert zwei...

2PLT240-HT160

2PLT240-HT160 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
XYZ-System für Hochvakuum Das Stellsystem basiert auf den Industrietischen PLT240 und einem Hubtisch HT160 ...

UHV Versteller

UHV Versteller - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
UHV Spiegelversteller für Beam Line Kippmechanismus mit Rückstellfeder Dies UHV-Einheit wird von außen mit...

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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Ansprechpartner Vakuum-Sonderbaugruppen

Dipl.-Ing. Elger Matthes

Tel.: +49 (0) 351 88585-0

elger.matthes(at)steinmeyer.com