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Standard und kundenspezifische High End Positioniersysteme
Linearachsen
Hochleistungs-Linearachsen, Hub bis 2000 mm, Repro bis 0.3 µm, Last bis 310 kg, Speed bis 4120 mm/s
Lineartische
Modulare Lineartische, Hub bis 1500 mm, Repro bis 0.3 µm, Last bis 310 kg, Speed bis 3260 mm/s
Mini Lineartische
Miniatur Linear Stages, Hub 10 - 80 mm, Repro bis 0.2 µm, Last bis 9 kg, Speed bis 100 mm/s
XY Stages
XY Präzisions-Kreuztische, Hub bis 450 x 450 mm, Repro bis 0.2 µm, Last bis 30 kg, Speed bis 1400 mm/s
Drehtische
Rotatorische Positionierer, Hub bis n x 360° (unbegrenzt), Repro bis 0.0001°, Last bis 15 kg, Speed bis 1500°/s
Hubtische
Z Vertikalachsen, Hub bis 25 mm, Repro bis 0.7 µm, Last bis 45 kg, Speed bis 10 mm/s
Mehrachssysteme
XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen, Hub bis 5 - 2400 mm, Repro bis 0.3 µm, Speed bis 1500 mm/s
Mehrachs-Aligner
Sehr geringe Hübe, kleinste Stellinkremente in X und Y und weiteren rotativen Bewegungen um Z
Kundenspezifische und technisch anspruchsvolle Positioniersysteme
Serienbaugruppen
Kundenspezifische Komponenten und Serien-Baugruppen
Inspektionssysteme
Kundenspezifische Positioniersysteme für Reinraum, Labor und Produktion
Reinraum Stages
Reinraum / Vakuum X, XY, Z Stages für HV, UHV und UV, DUV, EUV Strahlung
Reinraumsysteme
Reinraum / Vakuum XYZ-R Mehrachssysteme für HV, UHV und UV, DUV, EUV Strahlung
Downloads
Steinmeyer Katalog Standardsysteme
Steinmeyer Katalog Neue Systeme
Steinmeyer Katalog Vakuum-Systeme