Achsen & Stages nach Produktkategorie

Lineartische

Modulare Lineartische, Hub bis 2000 mm, Repro bis 0.3 µm, Last bis 310 kg, Speed bis 4120 mm/s

Mini Lineartische

Miniatur Linear Stages, Hub 10 - 80 mm, Repro bis 0.2 µm, Last bis 9 kg, Speed bis 100 mm/s

XY Stages

XY Kreuztische als präzises Positioniersystem
XY Präzisions-Kreuztische, Hub bis 450 x 450 mm, Repro bis 0.2 µm, Last bis 30 kg, Speed bis 1400 mm/s

Drehtische

Drehtische für präzises Positioniersystem von Proben und Bauteile
Rotatorische Positionierer, Hub bis n x 360° (unbegrenzt), Repro bis 0.0001°, Last bis 15 kg, Speed bis 1500°/s

Hubtische

Z Vertikalachsen, Hub bis 25 mm, Repro bis 0.7 µm, Last bis 45 kg, Speed bis 10 mm/s

Mehrachssysteme

XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen, Hub bis 5 - 2400 mm, Repro bis 0.3 µm, Speed bis 1500 mm/s

Vakuum & Reinraum

Bis Reinraumklasse ISO 2 - 1, Vakuum HV / UHV, Strahlung: DUV / EUV, Magnetismus Varianten

Controller

Einachs- und Mehrachs-Motion-Controller, integrierte Systeme, SPS / ACS-Integration

Standard Stages nach Kriterien filtern

Kundenspezifische und technisch anspruchsvolle Positioniersysteme 

Serienbaugruppen

Kundenspezifische Komponenten
Kundenspezifische Komponenten und Serien-Baugruppen

Inspektionssysteme

Kundenspezifische Positioniersysteme für Reinraum, Labor und Produktion

Reinraum Stages

Reinraum / Vakuum X, XY, Z Stages für HV, UHV und UV, DUV, EUV Strahlung

Reinraumsysteme

Reinraum / Vakuum XYZ-R Mehrachssysteme für HV, UHV und UV, DUV, EUV Strahlung