Hochleistungs-Positioniersysteme für Wissenschaft und Industrie

Finden Sie die technisch besten Positioniersysteme für die UHV-Technik. Ob hochpräzise Beschichtungen, innovative Grundlagenforschungen mit Teilchenbeschleunigern, Massenspektrometrie, Luft- und Raumfahrt oder der Medizintechnik – mit unserem µm-Know-how aus 150 Jahren Erfahrung. Nutzen Sie unser gesamtes Expertenteam direkt an einem Standort: für die Entwicklung, Teilefertigung, Micromontage, Software, Test und Zertifizierung.

Resultat: Sie setzen völlig neue Maßstäbe in der Forschung & Entwicklung.

Extrem hohe Systemqualität

durch eigene Teilefertigung, präzise Messmittel und strengste Richtlinien zur Qualitätssicherung

0,91 % Reklamationsquote in 2019

Herstellungskosten senken

durch schnelle 3D-Entwürfe, zertifizierte Messtechnik und Prototypen bis zur Serienfertigung

ca. 100 m² Mikro-Montagefläche bis ISO 5

Innovationsführerschaft

durch schnelle, praxisnahe Entwicklung mit Testlaboren und µm-Experten, die Ihre starken Ideen umsetzen

150 Jahre kundenspezifische Lösungen

Positioniersysteme

OEM-Systeme

Probenmanipulator für präzise Massenspektrometer, Spektrometrie, Probenanalyse unter Vakuum | extreme Lebensdauer - Labor / Analytik — Probenmanipulator für präzise Massenspektrometer, Spektrometrie, Probenanalyse unter Vakuum... Maximale Präzision und überragende Lebensdauer in der Massenspektrometrie Dieser hochpräzise...

Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine UV-Belichtung im Reinraum - Serienbaugruppen — Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine... Hochpräzise Verstellung zweier Optiken Diese hochpräzise Doppel-Linearachse wurde speziell für...

XY Phi Hochlast Positioniersystem für schnelle 3D Tomographien im Synchrotron | Verfahrweg XY 230 x 340 mm, Phi unbegrenzt, Drehradius 800 mm, Last bis 100 kg - Labor / Analytik — XY Phi Hochlast Positioniersystem für schnelle 3D Tomographien im Synchrotron | Verfahrweg... Ultrastabile Positionierung von extrem hohen Lasten Dieser Drehtisch wurde speziell für die 3D...

Vakuum

MP105-3 - Vakuum-Standardachsen — MP105-3 Schneller, präziser Mikropositionierer HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm Verfahrweg, 0.2 µm...

MP105-3 - Vakuum-Standardachsen — MP105-3 Fast, precise micropositioner HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm travel, 0.2 µm repeatability, 1 kg load...

MP53-3-PM - Vakuum-Standardachsen — MP53-3-PM Hochauflösender Mikropositionierer HV / UHV / EUV, 10 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit,...

KDT310 - Vakuum-Standardachsen — KDT310 Präziser Schwerlast-Kreuztisch HV / UHV, 100 mm Verfahrweg, 90 - 150 mm Apertur, 0.7 µm...

KDT105 - Vakuum-Standardachsen — KDT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 40 mm Apertur, 0.3 µm...

MT105 - Vakuum-Standardachsen — MT105 Konfigurierbarer Mikrotisch HV / UHV / EUV, 30 - 100 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5...

MT105 - Vakuum-Standardachsen — MT105 Customizable micro stage 10^ -11 HV / UHV / EUV, 30 - 100 mm travel, 0.4 µm repeatability, 5 kg load...

HDT255 - Vakuum-Standardachsen — HDT255 High load aperture lifting table HV / UHV / EUV, 16 mm Travel, 60 mm aperture, 1 µm repeatability,...

HDT255 - Vakuum-Standardachsen — HDT255 Hochlast-Durchlicht-Hubtisch HV / UHV / EUV, 16 mm Verfahrweg, 60 mm Apertur, 1 µm...

HT240 - Vakuum-Standardachsen — HT240 Precise high load vertical lifting stage HV / UHV / EUV, 25 mm travel, 1 µm repeatability, 40 kg...

HT240 - Vakuum-Standardachsen — HT240 Präziser Hochlast Hubtisch HV / UHV / EUV, 25 mm Verfahrweg, 1 µm Wiederholgenauigkeit, 40 kg Last...

HT160 - Vakuum-Standardachsen — HT160 Präziser Hochlast Hubtisch HV / UHV / EUV, 16 mm Verfahrweg, 1 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last...

LT300 - Vakuum-Standardachsen — LT300 Präziser Hochlast Lineartisch HV / UHV / EUV, 50 - 100 mm Verfahrweg, 0.5 µm Wiederholgenauigkeit,...

LA170 - Vakuum-Standardachsen — LA170 Präzise Schwerlast XYZ Linearachse HV / UHV / EUV, 60 - 130 mm Verfahrweg, 0.5 µm...

LA97 - Vakuum-Standardachsen — LA97 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, 40 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 2 kg Last...

LA97 - Vakuum-Standardachsen — LA97 Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg...

LA80 - Vakuum-Standardachsen — LA80 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg...

DT155 - Vakuum-Standardachsen — DT155 Flexibel konfigurierbar: Hochdynamischer Drehtisch mit großer Apertur (79 mm) HV, n x 360°, 0.0005°...

DT105-LM - Vakuum-Standardachsen — DT105-LM Hochauflösender flacher Drehtisch mit Apertur (36 mm) HV, n x 360°, 0.0005° Wiederholgenauigkeit, 1...

DT65 - Vakuum-Standardachsen — DT65 Hochpräziser Drehtisch HV, n x 360°, 0.003° Wiederholgenauigkeit, 0.5 kg Last Vakuum: alle Bereiche...

LA97 - Vakuum-Standardachsen — LA97 Nanometer linear stage HV / UHV up to 10^-11, 100 - 300 mm travel, 0.02 µm repeatability, up to 10...

DT105-LM - Vakuum-Standardachsen — DT105-LM High-resolution flat rotary stage with aperture (36 mm) HV, n x 360°, 0.0005° repeatability, 1 - 3...

KLT300 - Vakuum Sonderbaugruppen — KLT300 Kreuztisch mit Stabilität im Nanometerbereich Sehr stabiler Kreuzdurchlichttisch mit je 10 mm Hub....

2LA95 - Vakuum Sonderbaugruppen — 2LA95 XZ-System mit Piezobremse (UHV) Dieses 2-Achs-System mit Verfahrwegen von 7 x 7 mm. Das System ist...

3LA170 - Vakuum Sonderbaugruppen — 3LA170 Schwerlast XYZ-System (UHV) 3-Achs-Manipulator für Lasten bis 20 kg im Vakuum. Schrittmotorantrieb...

XYZ-Transportachse - Vakuum Sonderbaugruppen — XYZ-Transportachse Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm...

3LA95 - Vakuum Sonderbaugruppen — 3LA95 XYZ-System mit Piezobremse (UHV) Dieses 3-Achs-System mit Verfahrwegen von 5 x 20 x 10 mm ist für...

LA97-2MT85 - Vakuum Sonderbaugruppen — LA97-2MT85 Ein UHV 3-Achs-System in magnetfreier Ausführung. Die Verfahrwege liegen bei 200 mm für die...

3LT300 - Vakuum Sonderbaugruppen — 3LT300 XYZ-Manipulator Dieser 3-Achs-Manipulator ist für das Ultrahochvakuum konzipiert. Er verfügt über...

KT120 - Vakuum Sonderbaugruppen — KT120 nichtmagnetischer Kreuztisch Ein Standard-Kreuztisch mit Piezomotoren und 10 mm Hub und einer...

2PLT240-HT160 - Vakuum Sonderbaugruppen — 2PLT240-HT160 XYZ-System für das Hochvakuum Vakuum-Positioniersystem für Lasten bis 15 kg. Kugelgewindetriebe in...

Kameramanipulator für Magnetfeldmessung - Vakuum Sonderbaugruppen — Kameramanipulator für Magnetfeldmessung Die Herausforderung bei der Realisierung dieses Systems war die Kombination aus großen Lasten,...

2PLT240-HT160 - Vakuum Sonderbaugruppen — 2PLT240-HT160 XYZ-System für Hochvakuum Das Stellsystem basiert auf den Industrietischen PLT240 und einem...

Standardsysteme

MP70-3 - Manipulatoren — MP70-3 Rotativ-Justageeinheit mit drei Freiheitsgraden Mit drei Exzentertrieben werden hier drei rotative...

LA85-SM - — LA85-SM Fokus-Linearachse mit 25 - 50 mm Verfahrweg, 1.6 µm Wiederholgenauigkeit, 4 kg Last ...

Antriebe

1112-Anschlussgewindemutter - — 1112-Anschlussgewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

1412-Flanschmutter - — 1412-Flanschmutter Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

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Hochpräzise Produktion bis zur Großserie

> 5.000 Stück Kapazität für Ihre Produktion vom Funktionsmuster bis zur Großserie
> 3.900 m² Produktionsfläche für die Herstellung und Bearbeitung mit sämtlichen Zerspanungsverfahren
100% Flexibilität durch Sonderteilefertigung, Mikromontage bis zu Reinraum ISO Klasse 1, Messlabore und Prüfstände
High-End-Prototypen und Serienfertigung im Bereich UV, UHV, EUV
Lebensdauertests, Sicherheitskonzepte und Dokumentation

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Dipl.-Ing. Elger Matthes
Entwicklung, Beratung, Konzepte, Innovation

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