HV, UHV, EUV Positioniersysteme

Finden Sie die technisch besten Positioniersysteme für die UHV-Technik. Ob hochpräzise Beschichtungen, innovative Grundlagenforschungen mit Teilchenbeschleunigern, Massenspektrometrie, Luft- und Raumfahrt oder der Medizintechnik – mit unserem µm-Know-how aus 150 Jahren Erfahrung.

Nutzen Sie unser gesamtes Expertenteam direkt an einem Standort: für die Entwicklung, Teilefertigung, Micromontage, Software,Test und Zertifizierung.

Resultat: Sie setzen völlig neue Maßstäbe in der Forschung & Entwicklung.

Systemqualität

Sonderteilefertigung für exotische Bauteile, Messlabore und Qualitätssicherung

DIN EN ISO 9001:2015 & DIN EN ISO 50001:2018

100% Individualität

Kundenspezifische Entwicklung einzelner Komponenten bis hin zum schlüsselfertigen Gesamtsystem

150 Jahre kundenspezifische Lösungen

Entwicklungskosten senken

Technische Beratung ab der ersten Minute, schnelle 3D-Entwürfe und Prototypen bis zur Serienfertigung

über 3.900 m² Produktionsfläche

Positioniersysteme

Kundenspezifische Positioniersysteme

Probenmanipulator / Apertur Stage / Positioniersystem für Massenspektrometer, Probenanalyse unter Vakuum … Maximale Präzision und überragende Lebensdauer in der Massenspektrometrie Dieser hochpräzise...

Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine UV-Belichtung im Reinraum … Hochpräzise Verstellung zweier Optiken Diese hochpräzise Doppel-Linearachse wurde speziell für...

XY Phi Hochlast Positioniersystem für schnelle 3D Tomographien im Synchrotron | Verfahrweg XY 230 x 340 mm, Phi unbegrenzt, Drehradius 800 mm, Last bis 100 kg — XY Phi Hochlast Positioniersystem für schnelle 3D Tomographien im Synchrotron | Verfahrweg XY 230 x 340 mm, Phi… Ultrastabile Positionierung von extrem hohen Lasten Dieser Drehtisch wurde speziell für die 3D...

Mehrachssysteme

MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5° … Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb Mit diesem Aligner werden zwei translative...

Vakuum / Reinraum

MT53-PM Miniatur Lineartisch 53 x 53 x 20 mm, HV / UHV / DUV / EUV, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.8 kg,...

MT85-PM Präzisions-Miniatur-Lineartisch 114 x 97 x 28 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 25 - 50 mm, Repro...

DT310 Flacher Apertur Drehtisch HV, DUV / EUV, Reinraum ISO 5, n x 360°, Repro 0.004°, Speed 59°/s, Last...

MP105-3 Schneller, präziser Mikropositionierer HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm Verfahrweg, 0.2 µm...

MP53-3-PM Hochauflösender Mikropositionierer HV / UHV / EUV, 10 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit,...

DT65-NM Hochdynamischer Drehtisch HV / UHV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub unbegrenzt, Repro bis 0.003°, Speed...

DT105-NM Hochauflösender Drehtisch HV / UHV, DUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0005°, 3 kg Last, Speed...

KDT310-SM-HV Präziser Schwerlast-Kreuztisch HV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub 100 x 100 mm, Repro bis 0.7 µm, Speed...

DT155 Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep...

HDT255 Durchlicht-Hubtisch UHV, DUV / EUV, ISO 6, Hub 16 mm, Repro 0.7 µm, 10 kg Last, Speed 16 mm/s ...

KDT300-SM Hochlast XY Apertur Stage UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 10 - 100 mm, Repro 0.7 µm, 30 kg...

KDT120 Hochauflösender Titan-XY-Kreuztisch UHV. DUV / EUV, ISO 4, Hub 24 x 24 mm, Repro 0.03 µm, Last 0.5...

KT106/170-SM XY-Proben-Stage HV, UV / DUV, ISO 4, Hub 136 x 170 mm, Repro 0.6 µm, Last 5 kg, Speed 20 mm/s ...

KDT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 40 mm Apertur, 0.3 µm...

KT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 3 kg...

HT240 Präziser Hochlast Hubtisch UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 25 mm, Repro 0.3 µm, 40 kg Last ...

MT105 Konfigurierbarer Mikrotisch HV / UHV / EUV, 30 - 100 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5...

LT300 Präziser Hochlast Lineartisch HV / UHV / EUV, ISO 4, 50 - 100 mm Verfahrweg, 0.5 µm...

LA170 Präzise Schwerlast XYZ Linearachse HV / UHV / EUV, 60 - 130 mm Verfahrweg, 0.5 µm...

LA97 Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg...

LA95 Präzisions-Linearachse HV / UHV / UV / DUV, ISO 4, Hub 10 - 185 mm, Repro 0.4 µm, Last 4.5 kg,...

LA92 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, ISO 4, 40 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 2 kg...

KDT70-PM Nichtmagnetische Titan-XY-Stage UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 10 x 10 mm, Repro 0.3 µm, Last 0.3 kg,...

HT160 Präziser Hubtisch UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 16 mm, Repro 1 µm, Last 5 kg ...

LA85 Fokus-Linearachse HV / DUV, Reinraum ISO 6, Hub 25 - 50 mm, Repro 1.6 µm, Speed 60 mm/s, Last 4 kg...

DT230-SM Hochauflösender, stabiler Apertur-Drehtisch UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Repro...

LA80 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, ISO 4, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm...

XYZ Transfer Stage Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm...

YZ Tracking Stage - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme — YZ Tracking Stage YZ-System mit Piezobremse (UHV) Dieses 3-Achs-System ist trockenlaufend, verfügt über eine...

3LA170 Schwerlast XYZ-System (UHV) 3-Achs-Manipulator für Lasten bis 20 kg im Vakuum. Schrittmotorantrieb...

2LA95-LA105 (OSA) - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme — 2LA95-LA105 (OSA) XYZ-System mit Piezobremse (UHV) Dieses 3-Achs-System mit Verfahrwegen von 5 x 20 x 10 mm ist für...

Kameramanipulator (RICXS-Experiment) Vakuum-Mehrachssystem 1 Tesla bei 10E-8 mbar (UHV), harte Röntgenstrahlung, 42 Piezomotoren...

XYZ Stahl Aligner UHV / DUV / EUV, Reinraum ISO 6, Hub 5 x 10 x 5 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.5 kg ...

LA97-2MT85 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme — LA97-2MT85 Ein UHV 3-Achs-System in magnetfreier Ausführung. Die Verfahrwege liegen bei 200 mm für die...

3LT300 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme — 3LT300 XYZ-Manipulator Dieser 3-Achs-Manipulator ist für das Ultrahochvakuum konzipiert. Er verfügt über...

2PLT240-HT160 XYZ-System für Hochvakuum Das Stellsystem basiert auf den Industrietischen PLT240 und einem...

Kugel- und Gleitgewindetriebe

KGT 1112 Anschluss-Gewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

KGT 1214 Zylindermutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

KGT 1412 / 1432 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

KGT 1510 Federverspannte Anschlussgewinde-Doppelmutter mit 2-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

KGT 2422 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung, zweigängig ...

KGT ETA+ Energieeffiziente Kugelgewindetriebe ETA+ mit reduzierter Reibung und hoher Steifigkeit ...

KGT 1416 Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt

KGT 2412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung ...

EUV know-how

Materialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit

bis 10 Mio. Zyklen

Luftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit

5 Nanometer

Und noch höhere Präzisionfür sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen

Individuelle Anpassung und Entwicklung Ihrer Innovaiton

Optimale Positionierlösung für Ihre Anwendung mit einem schnellen, kostenfreien 3D-Entwurf
Design von Funktionsmustern, Prototypen bis zur Serie
Integrierte Entwicklung Ihrer Mechanik, Elektronik und Software
Serienfertigung Ihrer Innovation auf > 3.900 m² Produktionsfläche

Mehr zur Serienentwicklung

Anpassung an Ihre spezifischen Prozessbedürfnisse

Reinraumsysteme bis ISO 2

Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 2.

Mehr zur Serienentwicklung

Vakuum-Standardachsen bis 10^-12

Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand.

Zu den Vakuum-Standardachsen

Individuelle Lebensdauertestss

Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors.

Mehr zu Test und Messung