XYZ-UHV-System 2PLT240-HT160
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

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XYZ-UHV-System 2PLT240-HT160 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

 

XYZ-UHV-System für hohe Lasten und große Verfahrwege

UHV 10E-8 mbar, UV, DUV, EUV, ISO 6 | Hub 200 - 850 x 200 - 850 x 25 mm | Repro ± 4.4 µm | Last 41.8 kg | Speed 30 mm/s

  • Vakuum: Schmierung flüssig bis 10-8 mbar
  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • 2 Linearachsen PLT240 mit großem Hub kombiniert mit einer vertikalen Hubachse HT240
Optional konfigurierbar:
  • Kabelführung und angepasste Bohrungsraster
  • Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
  • Geeignet für UV, DUV, EUV, Röntgen und Gamma auf Anfrage
  • Kompatibel mit FMC 400, ACS und Beckhoff

Präzises UHV-Mehrachssystem auf Basis bewährter Standardachsen

Das XYZ-UHV-System 2PLT240-HT160 basiert auf zwei PLT240-Linearachsen und einem Hubtisch HT240. Es wurde für präzise Positionieraufgaben im Vakuum und Reinraum mit großen Verfahrwegen in X und Y sowie einer vertikalen Z-Bewegung ausgelegt. Die Kombination aus Schrittmotor, Kugelgewindetrieb, Profilschiene und optionalem Linearmaßstab ermöglicht eine robuste und vielseitig anpassbare Systemlösung für anspruchsvolle Integrationsaufgaben. Die Produktseite ordnet das System den Vakuum- / Reinraum-Mehrachssystemen zu. :contentReference[oaicite:0]{index=0}

Anwendungsbereiche

Vakuum- und Reinraumsysteme, optische und photonische Aufbauten, Mess- und Inspektionssysteme, präzise Handling- und Positionieraufgaben, Forschung und Entwicklung

 

782471:001.26   X Y Z
Standard-Achse   PLT240 PLT240 HT240
Verfahrweg [mm] [°] 200 - 850 200 - 850 25
Wiederholgenauigkeit unidirektional [mm] [°] ± 3.9 ± 3.9 ± 1.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional [mm] [°] ± 4.4 ± 4.4 ± 2.7
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] [°/s] 30 30 2.2
Max. Geschwindigkeit [mm/s] [°/s] 50 50 4.4
Max. Beschleunigung [m/s2] [°/s2] 0.5 0.5 0.04
Max. Last [N] 410
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Max. Ausheiztemperatur [deg] 120°
Motor   Schrittmotor
Antrieb   Kugelgewindetrieb
Führung   Profilschiene
Feedback   Open Loop / Linearmaßstab
Material   Aluminium UHV-gereinigt
Optionale Zusatzausstattung   Kabelführung, angepasste Bohrungsraster
Varianten Reinraum   bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung   UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus   magnetisch
Varianten Vakuum   auf Anfrage

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Verwendete Standard Komponenten

HT160-SM

Präzisionshubtisch, vertikal (Spindelantrieb), Hub 16 mm, Repro ± 1.7 µm, Last 5 kg, Speed 2,2 mm/s

PLT240-DLM

High Performance Stage (Linearmotor), Hub 200 - 1000 mm, Repro 0.4 µm, Last 15 kg, Speed 1815 mm/s

PLT240-AC

High Performance Stage (Spindelantrieb), Hub 200 - 850 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 64 kg, Speed 260 mm/s

PLT240-SM

Hochlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 200 - 850 mm, Repro ± 3.9 µm, Last 42 kg, Speed 60 mm/s

HT160-DC

Präzisionshubtisch, vertikal (Spindelantrieb), Hub 16 mm, Repro ± 0.7 µm, Last 5 kg, Speed 16.6 mm/s

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

Übersicht Standard-Stages     Technischen Berater kontaktieren

Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

Klicken Sie hier für mehr Systeme:
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Elger Matthes
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