XYZ-Positioinersysteme für Halbleiterapplikationen

Wir bieten spezielle orthogonale Mehrachssysteme, Gantry-Systeme in unterschiedlichen Genauigkeitsklassen mit und ohne Luftlager und auch Multiachskombinationen, die alle Freiheitsgrade der Bewegung ermöglichen. Entsprechend Ihren Anforderungen wählen wir den passen Controller aus und liefern das Mehrachssystem vollständig in Betrieb genommen und getestet.

OEM-Positioniersysteme

Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die automatisierte Präzisions-Montage - Justage, Montage, und Test
Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die automatisierte Präzisions-Montage... Hochpräzise automatisierte Montage von...
2-XYZ-Phi System mit Nanometerstabilität zur Micromontage und Miniaturisierung - Justage, Montage, und Test
2-XYZ-Phi System mit Nanometerstabilität zur Micromontage und Miniaturisierung ... Positionierungshaltegenauigkeit im...
Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x 720 x 100 mm - Inspektion und Mikroskopie
Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm... Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12" Das...
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x 100 mm - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B.... Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit...
XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub 720 x 720 x 100 mm - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub... Hochpräzise Qualitätssicherung für...
XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 800 x 1300 x 200 mm - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen,... µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität...
XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200 mm - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards... Hochstabile berührungslose optische Vermessung ...
XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb,... Hochpräzise automatische 3D Inspektion von...
XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2) - Inspektion und Mikroskopie
XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2) ... Universelles 4-achs-Granitportal mit...
Handling-System für organische LEDs - Inspektion und Mikroskopie
Handling-System für organische LEDs Aus Platzgründen sind zwei Rahmen...

Mehrachssysteme

MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro ± 0.2 µm | Hub 10 x 10 x 10 mm - Kompakte Mehrachssysteme
MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro... Hochauflösender Mikropositionierer Das...
MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ DC-Motor / Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Repro ± 0.8 µm | Hub 25 x 25 x 25 mm - Kompakte Mehrachssysteme
MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ DC-Motor / Schrittmotor,... Extrem kompaktes 3-Achs-Justiersystem: bis 10 N...
MP95-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Linearmesssystem | Repro ± 1.5 µm | Hub 40 x 40 x 40 mm - Kompakte Mehrachssysteme
MP95-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, ... Hochpräzises kartesisches XYZ-System Das...
MP130-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | DC-Motor/ Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Repro ± 2.3 µm | Hub 50 x 50 x 50 mm - Kompakte Mehrachssysteme
MP130-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | DC-Motor/ Schrittmotor,... Hochdynamisches 3-Achs-Justiersystem: bis 45 N...
MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 2 x 2 x 2 mm, Ryz 1.5 x 1.5° - Kompakte Mehrachssysteme
MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod... Extrem hochpräziser 5-Achs-Versteller: bis 20 N...
MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod | Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Hub 2 mm x 1.5° x 1.5° - Kompakte Mehrachssysteme
MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod | Schrittmotor, Gleitgewindetrieb |... Tripod mit Durchlicht Als Ergänzung zum Aligner...
MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm - Kompakte Mehrachssysteme
MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb,... Kompakter XYZ-Versteller für Proben bis 5" Dieses...
MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5° - Kompakte Mehrachssysteme
MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5... ± 1.6Flächen-Aligner mit Schrittmotor und...
XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100 mm - Gantries
XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor,... Universelles XYZ Positioniersystem für präzise...
XYZ Messsystem für variable und bewegte Lasten | XY Kugelgewinde, Kreuzrolle, DC-Motor, Linearmessystem - Kombinationen Labortische
XYZ Messsystem für variable und bewegte Lasten | XY Kugelgewinde, Kreuzrolle, DC-Motor,... Hochpräzise Messungen auch bei variablen Lasten...
XYZ Mikroskopie- und Prüfstation | XY DC Motor, Kugelgewindetrieb, Linarmessystem | Z Manuell | Hub 200 x 200 x 70 mm - Kombinationen Labortische
XYZ Mikroskopie- und Prüfstation | XY DC Motor, Kugelgewindetrieb, Linarmessystem | Z... Hochpräzise Prüfvorrichtung für vielseitige...
X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät | X DC-Motor, Kugelgewinde, Kreuzrolle, Linearmessystem | Phi AC-Servo, Winkelmesssystem - Kombinationen Labortische
X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät |... Exzellente Stabilität für enorme Auflösungen...
XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo | Hub 500 x 700 x 100 mm - Gantries
XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo... Hochgeschwindigkeits-Mehrachs-Gantry-System Dieses...
XYZ Gantry für hochdynamische Laser-Anwendungen | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo | Hub 800 x 1300 x 200 mm - Gantries
XYZ Gantry für hochdynamische Laser-Anwendungen | XY Linearmotor, Profilschiene | Z... Hochdynamisches XYZ Positioniersystem für...
XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x 600 x 100 x 100 mm - Gantries
XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z... Gantry mit Apertur und beidseitigen...
XYZ Inspektionsportal | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor | Hub 720 x 720 x 100 mm - Portale
XYZ Inspektionsportal | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor | Hub... Hochpräzise Qualitätssicherung für...
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Verfahrwege in XY bis 650 mm, Z 100 mm - Portale
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B.... Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit...
XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb, Riemen, Schrittmotor - Gantries
XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm |... Hochstabiles AFM-Luftlagergantry mit großen...
XXL XYZ-Portal mit Vakuum Chuck | XY Schrittmotor, Kugelgewinde, Profilschiene, Linearmesssystem | Z Kreuzrolle | Hub 1000 x 1000 x 100 mm - Portale
XXL XYZ-Portal mit Vakuum Chuck | XY Schrittmotor, Kugelgewinde, Profilschiene,... Hochpräzise Messaufgaben auf 1000 x 1000 mm Dieses...
XY-2Z 3D-Druck Portal (Reinraum) | XY Linearmotor, Linearmessystem | Z AC-Servo, Kugelgewindetrieb, Linearmessystem | 300 x 200 x 100 mm - Portale
XY-2Z 3D-Druck Portal (Reinraum) | XY Linearmotor, Linearmessystem | Z AC-Servo,... XY-2Z Positioniersystem für den hochpräzisen...