XYZ-Positioniersysteme für Halbleiterapplikationen

Wir bieten spezielle orthogonale Mehrachssysteme, Gantry-Systeme in unterschiedlichen Genauigkeitsklassen mit und ohne Luftlager und auch Multiachskombinationen, die alle Freiheitsgrade der Bewegung ermöglichen. Entsprechend Ihren Anforderungen wählen wir den passen Controller aus und liefern das Mehrachssystem vollständig in Betrieb genommen und getestet.

Kundenspezifische Positioniersysteme

Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die automatisierte Präzisions-Montage… Hochpräzise automatisierte Montage von...

2-XYZ-Phi System mit Nanometerstabilität zur Micromontage und Miniaturisierung … Positionierungshaltegenauigkeit im...

Handling-System für organische LEDs Aus Platzgründen sind zwei Rahmen...

Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x 720 x 100 mm — Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm… Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12" Das...

XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x 100 mm — XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B.… Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit...

XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub 720 x 720 x 100 mm — XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub… Hochpräzise Qualitätssicherung für...

XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 1200 x 1400 x 200 mm — XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen,… µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität bei...

6-Achs Halbleiter Inspektion Positioniersystem (Reinraum Klasse ISO 4) | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360° — 6-Achs Halbleiter Inspektion Positioniersystem (Reinraum Klasse ISO 4) | Hub XYZ 30 x 30 x… 6-Achs-Positionierung für Halbleiter Dieses...

XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200 mm — XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards… Hochstabile berührungslose optische Vermessung ...

XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo — XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb,… Hochpräzise automatische 3D Inspektion von...

XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2) … Universelles 4-achs-Granitportal mit...

Mehrachssysteme

MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro ± 0.2 µm | Hub 10 x 10 x 10 mm — MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro… Hochauflösender Mikropositionierer Das...

MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ DC-Motor / Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Repro ± 0.8 µm | Hub 25 x 25 x 25 mm — MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ DC-Motor / Schrittmotor,… Extrem kompaktes 3-Achs-Justiersystem: bis 10 N...

MP95-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Linearmesssystem | Repro ± 1.5 µm | Hub 40 x 40 x 40 mm — MP95-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, … Hochpräzises kartesisches XYZ-System Das...

MP130-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | DC-Motor/ Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Repro ± 2.3 µm | Hub 50 x 50 x 50 mm — MP130-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | DC-Motor/ Schrittmotor,… Hochdynamisches 3-Achs-Justiersystem: bis 45 N...

MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 2 x 2 x 2 mm, Ryz 1.5 x 1.5° — MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod… Extrem hochpräziser 5-Achs-Versteller Der...

MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod | Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Hub 2 mm x 1.5° x 1.5° — MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod | Schrittmotor, Gleitgewindetrieb |… Tripod mit Durchlicht Als Ergänzung zum Aligner...

5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, Tripod auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 100 x 100 mm, Z 4 mm, Rx Ry 4° — 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, Tripod auf XY Apertur Stage | Hexapod… Tripod auf XY Stage mit Apertur Dieser Aligner ist...

MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm — MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb,… Kompakter XYZ-Versteller für Proben bis 5" Dieses...

6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360° — 6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch,… 6-Achs-Ausrichtung von Wafern und Optiken bis 12"...

MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5° — MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5… Flächen-Aligner mit Schrittmotor und...

XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100 mm — XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor,… Universelles XYZ Positioniersystem für präzise...

XYZ Messsystem für variable und bewegte Lasten | XY Kugelgewinde, Kreuzrolle, DC-Motor, Linearmessystem — XYZ Messsystem für variable und bewegte Lasten | XY Kugelgewinde, Kreuzrolle, DC-Motor,… Hochpräzise Messungen auch bei variablen Lasten...

XYZ Mikroskopie- und Prüfstation | XY DC Motor, Kugelgewindetrieb, Linarmessystem | Z Manuell | Hub 200 x 200 x 70 mm — XYZ Mikroskopie- und Prüfstation | XY DC Motor, Kugelgewindetrieb, Linarmessystem | Z… Hochpräzise Prüfvorrichtung für vielseitige...

X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät | X DC-Motor, Kugelgewinde, Kreuzrolle, Linearmessystem | Phi AC-Servo, Winkelmesssystem — X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät |… Exzellente Stabilität für enorme Auflösungen...

XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo | Hub 500 x 700 x 100 mm — XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo… Hochgeschwindigkeits-Mehrachs-Gantry-System Dieses...

XYZ Gantry für hochdynamische Laser-Anwendungen | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo | Hub 1200 x 1400 x 200 mm — XYZ Gantry für hochdynamische Laser-Anwendungen | XY Linearmotor, Profilschiene | Z… Hochdynamisches XYZ Positioniersystem für...

XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x 600 x 100 x 100 mm — XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z… Gantry mit Apertur und beidseitigen...

XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb, Riemen, Schrittmotor — XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm |… Hochstabiles AFM-Luftlagergantry mit großen...

XYZ Inspektionsportal | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor | Hub 720 x 720 x 100 mm — XYZ Inspektionsportal | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor | Hub… Hochpräzise Qualitätssicherung für...

XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Verfahrwege in XY bis 650 mm, Z 100 mm — XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B.… Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit...

XXL XYZ-Portal mit Vakuum Chuck | XY Schrittmotor, Kugelgewinde, Profilschiene, Linearmesssystem | Z Kreuzrolle | Hub 1000 x 1000 x 100 mm — XXL XYZ-Portal mit Vakuum Chuck | XY Schrittmotor, Kugelgewinde, Profilschiene,… Hochpräzise Messaufgaben auf 1000 x 1000 mm Dieses...

XY-2Z 3D-Druck Portal (Reinraum) | XY Linearmotor, Linearmessystem | Z AC-Servo, Kugelgewindetrieb, Linearmessystem | 300 x 200 x 100 mm — XY-2Z 3D-Druck Portal (Reinraum) | XY Linearmotor, Linearmessystem | Z AC-Servo,… XY-2Z Positioniersystem für den hochpräzisen...

Kugel- und Gleitgewindetriebe

KGT 1112 - — KGT 1112 Anschluss-Gewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und...

KGT 1214 - — KGT 1214 Zylindermutter mit 4-Punkt-Kontakt und...

KGT 1412 - — KGT 1412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und...

KGT 1416 - — KGT 1416 Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt ...

KGT 1510 - — KGT 1510 Federverspannte Anschlussgewinde-Doppelmutter mit...

KGT 2422 - — KGT 2422 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und...

KGT ETA+ - — KGT ETA+ Energieeffiziente Kugelgewindetriebe ETA+ mit...

KGT 2412 - — KGT 2412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und...

EUV know-how

Materialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit

bis 10 Mio. Zyklen

Luftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit

5 Nanometer

Und noch höhere Präzision für sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen

Individuelle Anpassung und Entwicklung Ihrer Innovaiton

Optimale Positionierlösung für Ihre Anwendung mit einem schnellen, kostenfreien 3D-Entwurf

Design von Funktionsmustern, Prototypen bis zur Serie

Integrierte Entwicklung Ihrer Mechanik, Elektronik und Software

Serienfertigung Ihrer Innovation auf > 3.900 m² Produktionsfläche
~~Senden Sie uns online Ihre Anforderungen~~

Anpassung an Ihre spezifischen Prozessbedürfnisse

Reinraumsysteme bis ISO Klasse 1

Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 1.

Mehr zur Serienentwicklung

Vakuum-Standardachsen bis 10^-12

Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand.

Zu den Vakuum-Standardachsen

Individuelle Lebensdauertestss

Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors.

Mehr zu Test und Messung

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Francisco Samuel
Beratung
Deutschland Süd

T +49 (0) 351 88585-85

E-Mail

Tobias Zilian
Beratung Deutschland Nord, CH, AUS

T+49 (0) 151 16755537

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Vakuum-Standardachsen bis 10^-12