XYZ-Positioinersysteme für Halbleiterapplikationen
Wir bieten spezielle orthogonale Mehrachssysteme, Gantry-Systeme in unterschiedlichen Genauigkeitsklassen mit und ohne Luftlager und auch Multiachskombinationen, die alle Freiheitsgrade der Bewegung ermöglichen. Entsprechend Ihren Anforderungen wählen wir den passen Controller aus und liefern das Mehrachssystem vollständig in Betrieb genommen und getestet.
OEM-Positioniersysteme
Mehrachssysteme
Mehr als 100 m2
Reinraum-Produktionsfläche
Reinraumanforderungen ISO 14644-1 bis Klasse 1
10-12 mbar
Restdrücke
Für Ihre Hightech-Innovationen
5 nm
unter Extrembedingungen
HV, UHV, EUV, Strahlung oder extreme Temperaturen