Miniatur-XYZ Stage MP53-3
XYZ Positioniertische - kompakt gestapelt
782325:040.26 (782325:110.24)
Hochauflösender Mikropositionierer
Das Positioniersystem MP53 ist ein miniaturisiertes 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern realisieren. Wiederholgenauigkeiten von +- 0.005 µm sind mit entsprechendem Linearmesssystem möglich.
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Optionen:
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Anwendungsfelder
Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Probenvorbereitung, Probenscan, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse
| MP53-3 | X | Y | Z | |
| Standardsystem | MT53 | MT53 | MT53 | |
| Verfahrweg | [mm] | 10 | 10 | 10 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.2 | ± 0.2 | ± 0.2 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.3 | ± 0.3 | ± 0.3 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 | 5 | 5 |
| Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 7.5 | 7.5 | 7.5 |
| Max. Last | [N] | 5 | 5 | 5 |
| Länge x Breite x Höhe | [mm] | 86 x 53 x 59 | ||
| Motor | Piezo Motor | Piezo Motor | Piezo Motor | |
| Führung | Kreuzrolle | Kreuzrolle | Kreuzrolle | |
| Feedback | Linearmesssystem | Linearmesssystem | Linearmesssystem | |
| Auflösung Messsystem | 0.1 µm, optional bis zu 0.005 µm oder ohne Messsystem | |||
| Optionale Zusatzausstattung | Hochauflösende Messsysteme, kombinierbar mit Drehtischen für zusätzliche rotatorische Freiheitsgrade, kundenspezifische Entwicklung der kompletten Anwendung inklusive Gehäuse, Vorbereitung für Sperrluft, Bremse, kundenspezifische Adapter, Bohrungsraster, Kabel und Stecker | |||
| Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | |||
| Varianten Strahlung | UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |||
| Varianten Magnetismus | magnetisch | magnetarm | magnetfrei | |||
| Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV | |||
Verwendete Standard Komponenten
MT53-PM
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