XYZ Luftlager-Gantry mit Kugelgewinde
XYZ Gantry Positioniersysteme

782481:001.26

Hochstabiles AFM-Luftlagergantry

Dieses sehr steife XYZ Gantry ist speziell für die hochpräzise rasterkraftmikroskopische Untersuchung (AFM) von besonders großen Glasproben entwickelt. Über der u-förmigen Probenplattform befindet sich eine bewegliche Traverse in Z für das kundenspezifische AFM. Der Cantilever lässt sich exakt zur Probe ausrichten und zu jedem beliebigen Punkt innerhalb der U-Form zur Erfassung des Oberflächenreliefs bewegen. Die Luftlagerung sorgt für exzellente Stellgenauigkeit in der Ebene. Das maximale Probengewicht beträgt 500 kg.

Atomare Stabilität für anspruchsvolle Messungen

Ideal für hochsteife und präzise Vermessungen ohne Einfluss von Schwingungen

Hoher Durchsatz

Extreme Stabilität im Stillstand von 5 nm und besser

Überragende Lebensdauer durch den Einsatz verschleißfreier Luftlager

Optional erweiterbar:

Nanosurf bietet Ihnen kompakte, montierbare und kundenspezifische AFM-Systeme. Mehr Informationen erhalten Sie hier.
Erweiterbare Verfahrwege auf 550 x 1550 x 50 mm

Wartungsfrei und stabil durch Luftlagertechnik

Die Traverse bewegt sich auf speziell entwickelten Luftlagern. Sie schwebt auf einem ca. 5 µm dicken Luftspalt und arbeitet so praktisch berührungslos und verschleißfrei. Das garantiert eine sehr hohe Lebensdauer. Mithilfe der Luftlager kann eine extreme Steifigkeit erreicht werden. Sobald der Messkopf in Position gebracht ist, wird die Luft aus den Lagern gelassen und das System durch seine interne Vorspannung fixiert. Auch die gesamte Masse der Querachse liegt dann direkt auf dem Basisgranit auf und sorgt so für höchste Stabilität. Optional können unter dem Granit Füße als extra Schwingungsdämpfer montiert werden, um das System zusätzlich vor Gebäudeschwingungen zu schützen.

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Positionsiersystem Rasterkraftmikroskop (Atomic Force Microscope), Oberflächenanalyse, Analyse Oberflächenrelief, Waferinspektion, Materialwissenschaft

Spezifikationen

782481:001.26		X	Y	Z
Standardsystem				MT130-SM
Verfahrweg	[mm]	300	20	50
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 5.5	± 5.5	± 2.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 6.5	± 6.5	± 4.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	50	50	30
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	100	100	60
Max. Last	[N]			40
Gewicht	[kg]	185
Länge x Breite x Höhe	[mm]	530 x 550 x 555
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor	Schrittmotor
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1432.507/5.12.451.497 T7P / 152500
Spindelsteigung	[mm]	5
Feedback		Open Loop	Open Loop	Open Loop
Optionale Zusatzausstattung		Gehäuse, Vorbereitung für Sperrluft, Bremse, kundenspezifische Adapter, angepasste Bohrungsraster, angepasste Kabel und Stecker
Varianten Reinraum		ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV (DUV, EUV, Röntgen auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		-

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.