LA95
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:055.26 (40); 782475:054.26 (80), 782475:016.26 (185) mit Getriebe

 

Präzisions-Linearachse

HV / UHV / UV / DUV, ISO 4,  Hub 10 - 185 mm, Repro 0.4 µm, Last 4.5 kg, Speed 8.4 mm/s

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-9 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen
  • Mit oder ohne Messsystem
  • Mit oder ohne Getriebe (Abbildung ohne Getriebe)
  • Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
  • Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung
  • Kombierbar zum XYZ-System 3LA95 (OSA) oder mit Drehachsen
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
  • Optional mit Controller FMC400/450


Anwendungsbereiche

Positionierung für Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik, Ultrahochvakuum, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion, Positioniersystem für Laborinspektion

 

LA95   -40-SM -40-SM-L -80-SM -80-SM-L -185-SM -185-SM-L
Verfahrweg [mm]  40 40 80 80 185 185
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 1.9 ± 0.4 ± 1.9 ± 0.4 ± 1.9 ± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 2.9 ± 0.5 ± 2.9 ± 0.5 ± 2.9 ± 0.5
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 4.2 4.2 4.2 4.2 4.2 4.2
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 8.4 8.4 8.4 8.4 8.4 8.4
Max. Last Fx [N] 45 45 45 45 45 45
Max. Last Fy [N] 40 40 40 40 40 40
Max. Last Fz [N] 40 40 40 40 40 40
Länge (mit Getriebe) [mm] 260 260 285 285 410 410
Länge (ohne Getriebe) [mm] 235 235 260 260 385 385
Breite [mm] 105 105 105 105 95 95
Höhe [mm] 50 50 50 50 55 55
Gewicht [kg] 2.6 2.6 3 3 4.5 4.5
Max. Ausheiztemperatur [deg] 120 80 120 80 120 80
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Schmierung trocken [mbar] bis 10-9
Antrieb   Gleitgewindetrieb TR8x1,5
Motor   Schrittmotor
Führung   Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback   Open Loop  Linearmesssystem Open Loop  Linearmesssystem Open Loop Linearmesssystem
Auflösung Messsystem     0.1 µm, optional bis 0.01 µm   0.1 µm, optional bis 0.01 µm   0.1 µm, optional bis 0.01 µm
Optionale Zusatzausstattung   Getriebe, Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung oder Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung , kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch
Varianten Vakuum    alle Bereiche bis 10E-9 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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