LA95
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische
782475:055.26 (40); 782475:054.26 (80), 782475:016.26 (185) mit Getriebe
Präzisions-Linearachse
HV / UHV / UV / DUV, ISO 4, Hub 10 - 185 mm, Repro 0.4 µm, Last 4.5 kg, Speed 8.4 mm/s
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Optionen
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Anwendungsbereiche
Positionierung für Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik, Ultrahochvakuum, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion, Positioniersystem für Laborinspektion
LA95 | -40-SM | -40-SM-L | -80-SM | -80-SM-L | -185-SM | -185-SM-L | |
Verfahrweg | [mm] | 40 | 40 | 80 | 80 | 185 | 185 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 1.9 | ± 0.4 | ± 1.9 | ± 0.4 | ± 1.9 | ± 0.4 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 2.9 | ± 0.5 | ± 2.9 | ± 0.5 | ± 2.9 | ± 0.5 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 4.2 | 4.2 | 4.2 | 4.2 | 4.2 | 4.2 |
Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 8.4 | 8.4 | 8.4 | 8.4 | 8.4 | 8.4 |
Max. Last Fx | [N] | 45 | 45 | 45 | 45 | 45 | 45 |
Max. Last Fy | [N] | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 |
Max. Last Fz | [N] | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 |
Länge (mit Getriebe) | [mm] | 260 | 260 | 285 | 285 | 410 | 410 |
Länge (ohne Getriebe) | [mm] | 235 | 235 | 260 | 260 | 385 | 385 |
Breite | [mm] | 105 | 105 | 105 | 105 | 95 | 95 |
Höhe | [mm] | 50 | 50 | 50 | 50 | 55 | 55 |
Gewicht | [kg] | 2.6 | 2.6 | 3 | 3 | 4.5 | 4.5 |
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | 80 | 120 | 80 | 120 | 80 |
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | |||||
Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-9 | |||||
Antrieb | Gleitgewindetrieb TR8x1,5 | ||||||
Motor | Schrittmotor | ||||||
Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid | ||||||
Feedback | Open Loop | Linearmesssystem | Open Loop | Linearmesssystem | Open Loop | Linearmesssystem | |
Auflösung Messsystem | 0.1 µm, optional bis 0.01 µm | 0.1 µm, optional bis 0.01 µm | 0.1 µm, optional bis 0.01 µm | ||||
Optionale Zusatzausstattung | Getriebe, Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung oder Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung , kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | ||||||
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage) | ||||||
Varianten Strahlung | UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) | ||||||
Varianten Magnetismus | magnetisch | ||||||
Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-9 mbar HV / UHV |
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