LA92
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische
782475:037.26, 782475:028.26
High Speed Linearachse
HV / UHV / EUV, ISO 4, 40 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 2 kg Last
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Optional konfigurierbar:
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Schnelle horizontale und vertikale Positionierung im UHV
Die Linearachse wird hauptsächlich für das Scanning von Proben eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Sie verfügt über eine sehr schmale Bauform mit innenliegenden Motoren.
Anwendungsbereiche
Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion
LA92 | -40-LM-L | |
Verfahrweg | [mm] | 40 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.3 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.4 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 100 |
Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 150 |
Max. Last Fx | [N] | 19 |
Max. Last Fy | [N] | 19 |
Max. Last Fz | [N] | 9 |
Länge | [mm] | 205 |
Breite | [mm] | 92 |
Höhe | [mm] | 32 |
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 |
Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 |
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 |
Motor | Nanomotion | |
Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik | |
Feedback | Linearmesssystem | |
Auflösung Messsystem | 0.1 µm, optional bis zu 0.005 µm | |
Optionale Zusatzausstattung | kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | |
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage) | |
Varianten Strahlung | UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |
Varianten Magnetismus | magnetisch, magnetarm, magnetfrei | |
Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10-11 mbar HV / UHV |
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