DT155
Vakuum / Reinraum Drehtische
782326:034.24
Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur
UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0003°, Speed 300°/s, Last 5 kg
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Optional konfigurierbar:
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Hochpräzise mit dynamischer Bildgebung
Dieser kompakte und flache Drehtisch erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen bei schnellen Prozessen. Durch das große Durchlicht von 79 mm / 3" können auch große Proben exakt positioniert, vermessen und analysiert werden. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.
Anwendungsfelder
Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung
DT155 | -NM | |
Verfahrweg | [deg] | n x 360 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [deg] | ± 0.0003 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [deg] | ± 0.0005 |
Positioniergeschwindigkeit | [deg/s] | 200 |
Max. Geschwindigkeit | [deg/s] | 300 |
Max. Last | [N] | 49 |
Länge | [mm] | 200 |
Breite | [mm] | 155 |
Höhe | [mm] | 35 |
Gewicht | [kg] | 1.7 |
Drehteller | [mm] | Ø 150 |
Apertur | [mm] | Ø 79 (3") |
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 |
Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 |
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 100 |
Motor | Nanomotion (Piezo) | |
Lager | 2 Dünnringlager, Edelstahl | |
Feedback | Winkelmesssystem | |
Auflösung Messsystem | 0.00005° | |
Optionale Zusatzausstattung | kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | |
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | |
Varianten Strahlung | UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |
Varianten Magnetismus | magnetisch, magnetarm (magnetfrei auf Anfrage) | |
Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV |
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