DT105-NM
Vakuum / Reinraum Drehtische

782326:024.24, 782326:037.24
DT105-NM - Vakuum / Reinraum Drehtische

 

Hochauflösender Drehtisch

HV / UHV, DUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0005°, 3 kg Last, Speed 270°/s

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 mbar / Sonderkonfiguration trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 100°C
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung, magnetfrei als Sonderkonfiguration
  • Ausstattung mit drei Motoren für Lasten bis 3 kg
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
  • Optional mit Controller FMC400/450
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Hochauflösende Bildgebung unter begrenzten Bauraum

Dieser kompakte und flache Drehtisch erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen bei schnellen Prozessen. Durch das Durchlicht von 36 mm erlaubt eine exakt positionierung, vermessen und analyse kleiner Proben. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.
 

Anwendungsfelder

Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. AFM, Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Labormikroskopie, Bildgebende Systeme, Probenanalyse, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse

 

DT105 -1NM-W-2NM-W
Verfahrweg[deg] n x 360n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional[deg]± 0.0005± 0.0005
Wiederholgenauigkeit bidirektional[deg]± 0.001± 0.001
Positioniergeschwindigkeit[deg/s]180180
Max. Geschwindigkeit[deg/s]270270
Max. Last Fz[N]3030
Max. Lastmoment Mz[Nm]0.40.8
Länge[mm]150150
Breite[mm]105105
Höhe[mm]3232
Gewicht[kg]1.31.3
Drehteller [mm]Ø 150Ø 150
Apertur [mm]Ø 36Ø 36
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8bis 10-8
Schmierung trocken (Sonderkonfiguration)[mbar]bis 10-11bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]100100
Motor 1 Nanomotion (Piezo)2 Nanomotion (Piezo)
Lager 2 Dünnringlager, Edelstahl
Feedback Winkelmesssystem
Auflösung Messsystem 0.00005° 
Optionale Zusatzausstattung Vierpunktlager für Flüssigschmierung, Ausstattung mit bis zu 4 Motoren für höhere Lasten, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch, magnetarm (magnetfrei auf Anfrage)
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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