DT105-NM
Vakuum / Reinraum Drehtische
782326:024.24, 782326:037.24
Hochauflösender Drehtisch
HV / UHV, DUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0005°, 3 kg Last, Speed 270°/s
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Optional konfigurierbar:
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Hochauflösende Bildgebung unter begrenzten Bauraum
Dieser kompakte und flache Drehtisch erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen bei schnellen Prozessen. Durch das Durchlicht von 36 mm erlaubt eine exakt positionierung, vermessen und analyse kleiner Proben. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.
Anwendungsfelder
Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. AFM, Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Labormikroskopie, Bildgebende Systeme, Probenanalyse, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse
DT105 | -1NM-W | -2NM-W | |
Verfahrweg | [deg] | n x 360 | n x 360 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [deg] | ± 0.0005 | ± 0.0005 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [deg] | ± 0.001 | ± 0.001 |
Positioniergeschwindigkeit | [deg/s] | 180 | 180 |
Max. Geschwindigkeit | [deg/s] | 270 | 270 |
Max. Last Fz | [N] | 30 | 30 |
Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 0.4 | 0.8 |
Länge | [mm] | 150 | 150 |
Breite | [mm] | 105 | 105 |
Höhe | [mm] | 32 | 32 |
Gewicht | [kg] | 1.3 | 1.3 |
Drehteller | [mm] | Ø 150 | Ø 150 |
Apertur | [mm] | Ø 36 | Ø 36 |
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | bis 10-8 |
Schmierung trocken (Sonderkonfiguration) | [mbar] | bis 10-11 | bis 10-11 |
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 100 | 100 |
Motor | 1 Nanomotion (Piezo) | 2 Nanomotion (Piezo) | |
Lager | 2 Dünnringlager, Edelstahl | ||
Feedback | Winkelmesssystem | ||
Auflösung Messsystem | 0.00005° | ||
Optionale Zusatzausstattung | Vierpunktlager für Flüssigschmierung, Ausstattung mit bis zu 4 Motoren für höhere Lasten, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | ||
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | ||
Varianten Strahlung | UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) | ||
Varianten Magnetismus | magnetisch, magnetarm (magnetfrei auf Anfrage) | ||
Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV |
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