KDT310-SM-HV
Vakuum / Reinraum Kreuztische

782330:032.26

 

Präziser Schwerlast-Kreuztisch

HV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub 100 x 100 mm, Repro bis 0.7 µm, Speed 20 mm/s, Last bis 20 kg

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV bis 10-8 mbar
  • Schmierung: flüssig bis 10-8 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 100°C
  • Durchlicht in X mit 90 x 90 mm, Y 150 x 150 mm
Optional konfigurierbar:
  • Mit und ohne Messsystem
  • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT155) für rotatorische Anwendungen
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
  • Optional mit Controller FMC400/450
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Hochbelastbares XY-Durchlichtsystem

Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum kombiniert. Sein Konzept mit Profilschienenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums.

Er lässt sich einfach mit dem Drehtisch DT155 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben.
 

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik,  Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

 

KDT310   -100-SM -100-SM-L
Standard System   LT310 LT310
Verfahrweg [mm]  100 x 100 100 x 100
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 1.6 ± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 2.1 ± 0.5
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 10 10
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 20 20
Max. Last Fx [N] 196 196
Max. Last Fy [N] 196 196
Länge [mm] 310 310
Breite [mm] 310 310
Höhe [mm] 100 100
Apertur X [mm] 90 x 90
Apertur Y [mm] 150 x 150
Gewicht [kg] 17
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Max. Ausheiztemperatur [deg] 100
Spindeltyp   Kugelgewindetrieb 1214.545/1.8.138.188R P3P
Spindelsteigung   1
Führung   Profilschiene
Motor   Schrittmotor
Feedback   Open Loop Linearmesssystem
Messsystem Auflösung    ohne 0.05 µm, optional bis zu 0.001 µm
Optionale Zusatzausstattung   Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch
Varianten Vakuum    alle Bereiche bis 10E-8 mbar HV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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