KDT310-SM-HV
Vakuum / Reinraum Kreuztische
782330:032.26
Präziser Schwerlast-Kreuztisch
HV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub 100 x 100 mm, Repro bis 0.7 µm, Speed 20 mm/s, Last bis 20 kg
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Optional konfigurierbar:
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Hochbelastbares XY-Durchlichtsystem
Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum kombiniert. Sein Konzept mit Profilschienenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums.
Er lässt sich einfach mit dem Drehtisch DT155 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben.
Anwendungsbereiche
Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron
KDT310 | -100-SM | -100-SM-L | |
Standard System | LT310 | LT310 | |
Verfahrweg | [mm] | 100 x 100 | 100 x 100 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 1.6 | ± 0.7 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 2.1 | ± 0.5 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 10 | 10 |
Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 20 | 20 |
Max. Last Fx | [N] | 196 | 196 |
Max. Last Fy | [N] | 196 | 196 |
Länge | [mm] | 310 | 310 |
Breite | [mm] | 310 | 310 |
Höhe | [mm] | 100 | 100 |
Apertur X | [mm] | 90 x 90 | |
Apertur Y | [mm] | 150 x 150 | |
Gewicht | [kg] | 17 | |
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | |
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 100 | |
Spindeltyp | Kugelgewindetrieb 1214.545/1.8.138.188R P3P | ||
Spindelsteigung | 1 | ||
Führung | Profilschiene | ||
Motor | Schrittmotor | ||
Feedback | Open Loop | Linearmesssystem | |
Messsystem Auflösung | ohne | 0.05 µm, optional bis zu 0.001 µm | |
Optionale Zusatzausstattung | Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | ||
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | ||
Varianten Strahlung | UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) | ||
Varianten Magnetismus | magnetisch | ||
Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-8 mbar HV |
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