DT230-SM
Vakuum / Reinraum Drehtische
782475:012.14 (DT230-SM)
Hochauflösender, stabiler Apertur-Drehtisch
UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Repro 0.0002°, Speed 180°/s, Last 15 kg
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Optionen:
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Anwendungsfelder
Hochauflösende, enorm stabile Inspektion / Mikroskopie z.B. AFM, Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Durchlichtmessungen in der Halbleitertechnik, Wafer Inspektion, Labormikroskopie, Bildgebende Systeme, Probenanalyse, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse
DT230 | -SM-W | |
Verfahrweg | [deg] | n x 360 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [deg] | ± 0.0002 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [deg] | ± 0.0003 |
Positioniergeschwindigkeit | [deg/s] | 90 |
Max. Geschwindigkeit | [deg/s] | 180 |
Max. Last Fz | [N] | 150 |
Länge | [mm] | 250 |
Breite | [mm] | 230 |
Höhe | [mm] | 100 |
Drehteller | [mm] | Ø 200 |
Apertur (ohne Einlegescheibe) | [mm] | Ø 125 |
Apertur (mit Einlegescheibe) | [mm] | Ø 25 |
Gewicht | [kg] | 13.1 |
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 |
Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 |
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 |
Motor | Schrittmotor | |
Lager | Kugellager Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik | |
Feedback | Winkelmesssystem | |
Auflösung Messsystem | 0.00002° | |
Optionale Zusatzausstattung | Mit oder ohne Apertur, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | |
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | |
Varianten Strahlung | UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |
Varianten Magnetismus | magnetisch, magnetarm, magnetfrei | |
Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV |
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