DT230-SM
Vakuum / Reinraum Drehtische

782475:012.14 (DT230-SM)

 

Hochauflösender, stabiler Apertur-Drehtisch

UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Repro 0.0002°, Speed 180°/s, Last 15 kg

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Strahlung: UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-11 mbar
  • Schmierung: flüssig bis 10-8 mbar / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme, magnetfreie Ausführung
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
  • Ausführung für Reinraum (bis ISO Klasse 1 auf Anfrage), Labor oder Produktion
  • Optional mit Controller FMC400/450 oder SPS-Anbindung
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Hochauflösende, enorm stabile Inspektion / Mikroskopie z.B. AFM, Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Durchlichtmessungen in der Halbleitertechnik, Wafer Inspektion, Labormikroskopie, Bildgebende Systeme, Probenanalyse, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse

 

DT230   -SM-W
Verfahrweg [deg] n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional [deg] ± 0.0002
Wiederholgenauigkeit bidirektional [deg] ± 0.0003
Positioniergeschwindigkeit [deg/s] 90
Max. Geschwindigkeit [deg/s] 180
Max. Last Fz [N] 150
Länge [mm] 250
Breite [mm] 230
Höhe [mm] 100
Drehteller  [mm] Ø 200
Apertur (ohne Einlegescheibe) [mm] Ø 125
Apertur (mit Einlegescheibe) [mm] Ø 25
Gewicht [kg] 13.1
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Schmierung trocken [mbar] bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur [deg] 120
Motor   Schrittmotor
Lager   Kugellager Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik
Feedback   Winkelmesssystem 
Auflösung Messsystem   0.00002°
Optionale Zusatzausstattung   Mit oder ohne Apertur, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum    alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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