XYZ-UHV-Manipulator 3LT300
Vakuum / Reinraum XYZ Stapel Stages

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XYZ-Manipulator für Ultrahochvakuum

UHV 10E-11 mbar, UV, DUV, EUV, ISO 6 | Hub 10 - 100 mm | Repro ± 4 µm | Last 2 - 5 kg | Speed 5 mm/s

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV, Schmierung flüssig bis 10-8 mbar / trocken bis 10-11 mbar
  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Trockenlaufendes 3-Achs-System mit hoher Stabilität und zusätzlichen Piezobremsen
Optional konfigurierbar:
  • Hubvarianten von 10 mm bis 100 mm in X, Y und Z
  • Kundenspezifische fluorfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
  • Geeignet für UV-, DUV- und EUV-Anwendungen, Röntgen und Gamma auf Anfrage
  • Magnetische Ausführung sowie passende Controller FMC 220, FMC 250/280, FMC400/450 und SPS-Anbindung

Extrem stabiler Aufbau für UHV-Anwendungen

Der 3LT300 ist ein kompakter XYZ-Manipulator für Anwendungen im Ultrahochvakuum. Das System ist trockenlaufend ausgelegt und erreicht durch Kreuzrollenführungen aus Edelstahl in hybrider Ausführung, Linearmesssystem und zusätzliche Piezobremsen eine hohe Stabilität nach dem Positionieren. Damit eignet sich die Baureihe für präzise Verstellungen in wissenschaftlichen Experimenten, Vakuuminstrumentierung und optischen Aufbauten mit hohen Anforderungen an Ausgasung, Reproduzierbarkeit und thermische Belastbarkeit.

Anwendungsbereiche

UHV-Manipulation, wissenschaftliche Experimente, Vakuuminstrumentierung, optische und photonische Aufbauten, Beamline-nahe Anwendungen, Forschung und Entwicklung

 

782475:003.26   X Y Z
Verfahrweg [mm] 10-100 10-100 10-100
Wiederholgenauigkeit [µm] ± 4 ± 4 ± 4
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 5 5 5
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 10 10 10
Max. Last [kg] 2 - 5
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Schmierung trocken [mbar] bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur [deg] 120°
Motor   Schrittmotor
Führung   Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback   Linearmesssystem Open Loop Open Loop
Auflösung Messsystem   0.1 µm - 0.001 µm / /
Optionale Zusatzausstattung   kundenspezifische fluorfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum   bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung   UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus   magnetisch
Varianten Vakuum [mbar] alle Bereiche bis 10-11 HV/UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

Übersicht Standard-Stages     Technischen Berater kontaktieren

Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

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Elger Matthes
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