Vakuum Lineartische und Linearachsen

Je nach Applikation bieten wir Ihnen Lineartische mit einer Vielzahl an unterschiedlichen Antrieben und Führungen für Restdrücke bis 10-6mba - oder noch besser - an. Innerhalb einer Serie lassen sich die modularen Lineartische einfach miteinander kombinieren.

LTP90-SM-UHV
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

236971, 236970, 236967, 236964
LTP90-SM-UHV - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

 

Präzisions-Lineartisch für UHV-Anwendungen

UHV 10E-8 mbar, UV, DUV, ISO 6 | Hub 50 - 200 mm | Repro ± 2.6 µm | Last 16.3 kg | Speed 13 mm/s

  • Vakuum: bis 10E-8 mbar, Schmierung flüssig
  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Strahlung: UV, DUV, EUV, Röntgen und Gamma auf Anfrage
  • Kompakter UHV-Lineartisch mit präziser Führung und optionalem Motor-Encoder
Optional konfigurierbar:
  • Hubvarianten von 50 mm bis 200 mm
  • PFAS-freie Schmierung sowie kundenspezifische Zusatzbohrungen und Adapter
  • Optionaler Motor-Encoder
  • Ausführungen für Reinraum, Vakuum und strahlungsnahe Anwendungen

Robuster Lineartisch für präzise Positionieraufgaben im UHV

Der LTP90-SM-UHV ist ein kompakter Präzisions-Lineartisch für Anwendungen im Ultrahochvakuum. Die Baureihe kombiniert Schrittmotor, Kugelgewindetrieb D8 p2 und Kreuzrollenführung aus Edelstahl zu einer robusten und präzisen Lösung für lineare Positionieraufgaben. Mit Verfahrwegen von 50 mm bis 200 mm, einer Wiederholgenauigkeit von ± 2.6 µm und einer maximalen Last von 160 N in Fy und Fz eignet sich das System für anspruchsvolle Integrationsaufgaben in Vakuum-, Reinraum- und Photoniksystemen.

Anwendungsbereiche

UHV-Anlagen, Optik- und Photoniksysteme, Sensor- und Probenpositionierung, Laborautomation, Mess- und Inspektionssysteme, Reinraumprozesse sowie Forschung und Entwicklung

 

LTP90-SM UHV   -50-SM -120-SM -150-SM -200-SM
Verfahrweg [mm] 50 120 150 200
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 2.1 ± 2.1 ± 2.1 ± 2.1
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 2.6 ± 2.6 ± 2.6 ± 2.6
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 13 13 13 13
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 20 20 20 20
Max. Last Fx [N] 20 20 20 20
Max. Last Fy [N] 160 160 160 160
Max. Last Fz [N] 160 160 160 160
Länge [mm] 229 299 329 379
Breite [mm] 90 90 90 90
Höhe [mm] 41.3 41.3 41.3 41.3
Gewicht [kg] 1.61 2.11 2.61 3.11
Apertur [mm] 0 0 0 0
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Schmierung trocken [mbar] nicht
Max. Ausheiztemperatur [deg] 100
Spindeltyp   Kugelgewindetrieb D8 p2
Spindelsteigung   2
Führung   Kreuzrolle Edelstahl
Motor   Schrittmotor
Feedback   optional Motor-Encoder
Optionale Zusatzausstattung   PFAS-freie Schmierung, Zusatzbohrungen, Adapter
Varianten Reinraum   bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung   UV  (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus   magnetisch
Varianten Vakuum [mbar] 10E-8

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Verwendete Standard Komponenten

LA85-DC

Fokus-Linearachse (Spindelantrieb), Hub 25 - 50 mm, Repro ± 0.5 µm, Last 4.5 kg in X/Y/Z, Speed 60 mm/s

LA340-EDLM

High Performance Stage (Luftlager), Hub 500 - 2000 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 3090 mm/s

LA250-DLM

Hochlast Linearachse (Linear Motor), Hub bis 2000 mm, Repro ± 0.4 µm, Last bis 25 kg, Speed bis 3090 mm/s

LA110-EDLM

High Performance Stage (Linear Motor), Hub 250 - 750 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 4.5 kg, Speed 1500 mm/s

LA85-SM

Fokus-Linearachse (Spindelantrieb), Hub 25 - 50 mm, Repro ± 1.6 µm, Last 4.5 kg in X/Y/Z, Speed 60 mm/s

PMT160-DC

Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 1.7 µm, Last 4,5 kg, Speed 60 mm/s

PMT160-SM

Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 1.9 µm, Last 15 kg, Speed 20 mm/s

PMT160-EDLM

Hochpräziser Lineartisch (Linear Motor), Hub 50 - 260 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 1.4 kg, Speed 375 mm/s

PMT160-NM

Hochpräziser Lineartisch (Nanomotion), Hub 50 - 250 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 8 kg, Speed 75 mm/s

LTP30-DC

Schmaler Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 150 mm, Repro ± 1.5 µm, Last 4.5 kg, Speed 60 mm/s

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

Übersicht Standard-Stages     Technischen Berater kontaktieren

Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

Klicken Sie hier für mehr Systeme:
Übersicht über unsere Standardachsen

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Elger Matthes
Beratung, Konzepte, Innovation & Engineering
T +49 351 88585-82
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