UHV Spiegelversteller
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

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UHV Spiegelversteller - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

 

UHV Spiegelversteller für Beam Line

UHV 10E-11 mbar, UV, DUV, EUV, ISO 6 | Hub 360° x 100° | Repro ± 0.1° | Last 1 kg | Speed 20 °/s

  • Vakuum: flüssig bis 10-8 mbar / trocken bis 10-11 mbar
  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Schwenkbare Dreheinheit mit Durchlicht für Polarisationsumformer, Filter und Strahlabgänge
Optional konfigurierbar:
  • Winkelmesssystem und kundenspezifische Adapter
  • Geeignet für UV, DUV und EUV, Röntgen und Gamma auf Anfrage
  • Magnetische Ausführung
  • Kompatibel mit FMC220, FMC250/280, FMC400/450 und SPS-Anbindung

Sehr exakte Drehlagerung mit minimalen Fehlern

Die Polarisationseinheit wurde für das Ein- und Ausschwenken aus dem Strahlengang entwickelt und ermöglicht eine sehr exakte Drehlagerung mit minimalen Fehlern. Ein externer Flanschantrieb wird über ein Seil zum Kippen verwendet, während ein Stahlbandantrieb mit Schrittmotor die hochauflösende Drehung um die Strahlachse übernimmt. Durch den großen Lagerabstand und die Justagemöglichkeit der optischen Elemente werden geringste Drehfehler erreicht. Die Einheit eignet sich für Beam-Line-Anwendungen, bei denen lineare in zirkulare Polarisation umgewandelt werden soll.

Referenz

Erzeugung zirkular polarisierter Strahlung im extrem-ultravioletten Spektralbereich am Freie-Elektronen-Laser FLASH | Review of Scientific Instruments 88, 053903 (2017) | https://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.4983056

Anwendungsbereiche

Strahlabgänge, Polarisationsumformer, Filter, Beam Line, wissenschaftliche Experimente und Synchrotron-nahe Anwendungen

 

782479:001.26 Spiegelversteller   Rx Rxx
Verfahrweg [mm] [°] 360 100
Wiederholgenauigkeit unidirektional [mm] [°] ± 0.01 ± 0.1
Wiederholgenauigkeit bidirektional [mm] [°] ± 0.05 ± 0.3
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] [°/s] 20 30
Max. Geschwindigkeit [mm/s] [°/s] 30 30
Max. Beschleunigung [m/s2] [°/s2] 300 300
Max. Last [N] 10
Länge [mm] 400
Breite [mm] 152
Höhe [mm] 183
Gewicht [kg] 12.1
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Schmierung trocken [mbar] bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur [deg] 120°
Motor   Schrittmotor
Antrieb   Stahlband, Seil
Führung   Dünnringlager
Feedback   Open Loop
Material   Aluminium UHV-gereinigt
Optionale Zusatzausstattung   Winkelmesssystem, kundenspezifische Adapter
Varianten Reinraum   bis Reinraum Klasse ISO 6
Varianten Strahlung   UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus   magnetisch
Varianten Vakuum   Vakuum

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

Übersicht Standard-Stages     Technischen Berater kontaktieren

Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

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Elger Matthes
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