3 DOF Probenmanipulator
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

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3 DOF Probenmanipulator - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

 

Kompakter 3 DOF Probenmanipulator XY-Theta für Ultrahochvakuum

UHV 10E-11 mbar | UV / DUV / EUV / Röntgen | ISO 4 | Hub 30 x 30 mm | Rotation n×360° | Repro ± 0.2 µm | Speed 20 mm/s / 200°/s

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: flüssig bis 10-8 mbar | trocken bis 10-11 mbar
  • Strahlung: UV | DUV | EUV | Röntgen | Gamma auf Anfrage
  • Sehr kompaktes XY-Rz System mit hoher Steifigkeit | kleinstem Bauraum sowie hohen Geschwindigkeiten und Beschleunigungen
  • Hohe Auflösung für XY-Scans und Schnitte mit zusätzlicher kontinuierlicher Drehachse
Optional konfigurierbar:
  • Angepasste Probenhalter für kundenspezifische Anwendungen
  • Magnetische und magnetarme Ausführung auf Anfrage
  • Material- und Umgebungsanpassung für UHV | Reinraum und Strahlung
  • Optional mit Controller FMC22x | FMC400/450 oder ACS

Sehr kompaktes XY-Rz System für hochauflösende Scans im UHV

Der 3 DOF Probenmanipulator XY-Theta wurde für Anwendungen im Ultrahochvakuum entwickelt, bei denen ein sehr kompaktes System mit hoher Steifigkeit | hoher Auflösung und zusätzlicher kontinuierlicher Drehachse benötigt wird. Die Kombination aus zwei linearen XY-Achsen und einer Z-Rotationsachse ermöglicht präzise XY-Scans sowie Schnitte und Positionieraufgaben in UHV-Umgebungen. Durch Piezomotoren | Profilschiene / Dünnringlager sowie Linearmesssystem / Winkelmesssystem eignet sich die Variante für anspruchsvolle Anwendungen in Mikroskopie | Probenbearbeitung und Forschung.

Anwendungsfelder

3-Achs-Bearbeitung und Probenmanipulation in Ultrahochvakuum | Mikroskopie im Vakuum | Probenbearbeitung im Ionenstrahlmikroskop | Forschung und Entwicklung

 

786020:001.26 VAR | 3 DOF Probenmanipulator   X Y Rz
Standardsystem   KT180-LM KT180-LM DT155
Verfahrweg [mm] [°] 30 30 n*360
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] [°] ± 0.2 ± 0.2 ± 0.0003
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] [°] ± 0.3 ± 0.3 ± 0.0005
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] [°/s] 20 20 200
Max. Geschwindigkeit [mm/s] [°/s] 30 30 300
Max. Beschleunigung [m/s2] [°/s2] 500 500 3000
Motor   Piezomotor
Führung   Profilschiene / Dünnringlager
Feedback   Linearmesssystem / Winkelmesssystem
Material   Aluminium UHV-gereinigt
Optionale Zusatzausstattung   Angepasste Probenhalter
Varianten Reinraum   bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung   UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus   magnetisch, magnetarm auf Anfrage
Varianten Vakuum [mbar] flüssig 10E-8, trocken 10E-11
Passende Controller   FMC22x, FMC400/450, ACS

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

Übersicht Standard-Stages     Technischen Berater kontaktieren

Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

Klicken Sie hier für mehr Systeme:
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Elger Matthes
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