XYZ Stahl Aligner
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
782300:087.26
UHV / DUV / EUV, Reinraum ISO 6, Hub 5 x 10 x 5 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.5 kg
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Optionen:
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Transfer mit Submikometerschrittweiten auf kleinsten Bauraum
Diese Baugruppe basiert auf einem Mikrotisch MT53 mit Piezoantrieb. Zwei dieser Tische bilden den ZX-Antrieb. Getrennt davon ist im gleichen Rohr der Y-Antrieb untergebracht. Der Aufbau erlaubt damit einen hochkompakte Positionierung von Probem unter extremer Strahlung im enorm gerrringen Bauraum.
Ausgestattet ist der MT53 mit Kreuzrollenführungen und einem Piezoantrieb, welcher Schrittweiten im Nanometerbereich auf sehr begrenzten Bauraum ermöglicht. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Wiederholgenauigkeiten von +- 0.005 µm sind mit entsprechendem Linearmesssystem möglich.
Anwendungsbereiche
Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, 3-Achs-Strahljustage, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Materialforschung, Materialanalyse, Synchrotron, Miniaturisierung
782300:087.26 | X | Y | Z | |
Standard System | MT53-5-PM | MT53-10-PM | MT53-5-PM | |
Verfahrweg | [mm] | 5 | 10 | 5 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.2 | ± 0.2 | ± 0.2 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.3 | ± 0.3 | ± 0.3 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 | 5 | 5 |
Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 10 | 10 | 10 |
Max. Last Fx | [N] | 5 | 5 | 5 |
Max. Last Fy | [N] | 8.8 | 8.8 | 8.8 |
Max. Last Fz | [N] | 8.8 | 8.8 | 8.8 |
Länge | [mm] | 195 | ||
Breite | [mm] | 75 | ||
Höhe | [mm] | 70 | ||
Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | ||
Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | ||
Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | ||
Motor | Piezo Motor | |||
Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik | |||
Feedback | Linearmesssystem | |||
Auflösung Messsystem | 0.1 µm, optional bis zu 0.005 µm | |||
Optionale Zusatzausstattung | kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | |||
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | |||
Varianten Strahlung | UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |||
Varianten Magnetismus | magnetisch, magnetarm, magnetfrei | |||
Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV |
Verwendete Standard Komponenten
MT53-PM
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