6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360°
XYZ Tip-Tilt System

786015:009.26

6-Achs-Ausrichtung von Wafern und Optiken bis 12"

Der 6-Achs-Manipulator besteht aus einem Kreuztisch in der Horizontalen sowie einem Tripod für Vertikalhub und zwei Kippungen und kombiniert damit die Stärken kartesischer und parallelkinematischer Konstruktionen in einem System. Die kartesische XY-Verstellung realisiert Verfahrwege von ± 15 mm, die Vertikalachse des Tripods ist für Hübe von ±10 mm ausgelegt. Die rotatorischen Achsen Rx und Ry ermöglichen Kippungen um ± 2°, die Drehung um die Vertikale Rz beträgt 360°.

Automatisierte Reinraum-Inspektion

Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern und Optiken bis 300 mm / 12"

Hohe Wiederholgenauigkeit von ± 2,5 µm bzw. ± 0,005°

Herausragende Präzision, Steifigkeit und Kompaktheit bei 520 x 600 x 155 mm

Ausgelegt für den Einsatz im 3-Schicht-Betrieb bis Reinraum Klasse ISO 5

Optionen:

Sonderausführung für Proben bis 450 mm / 18"
Verschiedene Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Modulares Mehrachssystem mit kundenspezifischen / auswechselbaren Prozessköpfen
Verschiedene Probenhalter, Einbindung in Workflows
Anwendungsspezifisch getestet und sofort einsatzbereit mit Plug-and-Play-fähigem Motion Controller inkl. Beispielsoftware
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Halbleiterinspektion, Ausrichten, Alignment, Wafer, Optiken, Manipulator, Parallelkinematik, Testing und Bonding auf Wafern und PCB, Kombinationen von optischer Inspektion und Bearbeitung z.B. beim Chip-on-Board Bonding (Messmikroskop und Laserlöten)

Specifications

786015:009.26		X	Y	Z	Rx	Ry	Rz
Standardsystem		MT95	MT95	3x MT95	3x MT95	3x MT95
Verfahrweg	[mm; deg]	30	30	20	4	4	360 x n
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 1.5	± 1.5	± 1.5	0.0004	0.0004	0.05
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 3.5	± 3.5	± 3.5	0.001	0.001	0.1
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1.1	1.1	1.1	0.3	0.3	100
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	2	2	2	0.5	0.5	200
Max. Last	[N]	65	65	100	65	65	20
Motor		DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor	Schrittmotor
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Riemen
Feedback		Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder	ohne
Apertur Durchmesser	[mm]	250 (optional größer als Sonderausführung)
Max. Durchmesser der Probe	[mm] [inch]	300 12 (450 mm / 18" optional als Sonderausführung)
Länge x Breite x Höhe	[mm]	520 x 600 x 155

Controllers

SPS

Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff

Used Standard Components

MT95-DC

Lineartisch 95 x 95 x 40 mm, Hub bis 40 mm, Repro ± 1.5 µm, Last 6 kg, Speed 2 mm/s

KGT 1112

Anschluss-Gewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung

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Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
Piezomotoren wie Piezo-Legs^® oder Nanomotion^®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur^® bzw. Zeromet^® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.