DT200
Vakuum / Reinraum Drehtische

782338:033.26

Apertur Drehtisch

HV, DUV / EUV, Reinraum ISO 5, n x 360°, Repro ± 0.001°, Speed 109°/s, Last 11 kg

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 5 (höher auf Anfrage)

Strahlung: UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)

Schmierung: flüssig bis 10^-6 mbar

Optionen:

Mit oder ohne Apertur
Verschiedene Motoren: DC-Motor, Schrittmotor, AC-Servo
Hochauflösendes optisches Winkelmesssystem
Integrierte Drehdurchführung
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl: Aluminium, Bilatal, Nickel
Anpassung der Probengröße 12" / 300 mm auf kundenspezifisches Chuck Interface
Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion
Optional mit Controller FMC400/450, kundenspezifische Schnittstellen (DLL, API), einen Ready-to-Use-Motioncontroller mit Beispielsoftware oder die Integration in SPS-Architekturen bzw. ACS-Umgebungen
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Wafer-Handling, Reflexionsoberflächen-Inspektion, Durchlichtmessung, Wafer-Ausrichtung unter Reflexion, Inspektion transparenter Substrate, Bewertung von Glas-Wafern, Schichtdickenmessung, Defekterkennung in reflektierenden Schichten, Wafer-Inspektion, Maskenausrichtung, Linsenausrichtung, Strahlführung, Faser-Kopplung, optische Messtechnik, Wafer-Bonding, Die-Platzierung, Spiegelpositionierung, Spektroskopie-Ausrichtung, Photolithografie-Stages, Polarisationsrotation

Spezifikationen

DT200		-DC-R	-DC-R-W
Verfahrweg	[deg]	n x 360	n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[deg]	± 0.002	± 0.001
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[deg]	± 0.014	± 0.002
Positioniergenauigkeit	[deg]	± 0.017	± 0.003
Exzentrizität	[µm]	± 4	± 4
Taumel	[µrad]	± 25	± 25
Positioniergeschwindigkeit	[deg/s]	73	47
Max. Geschwindigkeit	[deg/s]	109	70
Max. Beschleunigung	[deg/s²]	1234	790
Max. Last Fz	[N]	110	110
Max. Lastmoment Mx, My	[N]	16.6	16.6
Max. Lastmoment Mz	[N]	5.6	8.8
Länge	[mm]	240	240
Breite	[mm]	200	200
Höhe	[mm]	40	40
Drehteller Ø	[mm]	170	170
Apertur Ø	[mm]	66	66
Gewicht	[kg]	4.0	4.0
Lager		Dünnringlager
Motor		DC-Motor
Antrieb		Riemen, Harmonic Drive
Feedback		Motorencoder, Winkelmesssystem (dual loop)
Oberfläche		Aluminium eloxiert, Nickel
Optionale Zusatzausstattung		Drehdurchführung elektrisch und pneumatisch, überschliffener Drehteller für optimalen Planlauf, Bremse, Drehbegrenzung, Kabelführung, umschlagender Hartanschlag, Sperrluft, Absaugung
Varianten Reinraum		bis Reinraumklasse ISO 5 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		EUV, DUV, UV (Röntgen und Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		-
Varianten Vakuum		-

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.