KDT600-EDLM
Kreuztische

XY Aperture Stage (Linearmotor), Hub 385 x 385 mm, Apertur 400, Repro 0.3 µm, Last 23 kg, Speed 500 mm/s
KDT600-EDLM

 

Scantisch mit großer Durchlichtöffnung

Dieser XY Präzisionskreuztisch ist für höchste Wiederholbarkeit konstruiert. Es lassen sich kostensparend Genauigkeiten mit Kompensation erreichten, die sonst nur Luftlagersystemen vorbehalten sind. Es werden polierte Kreuzrollenführungen für Wiederholbarkeit von Geradheit und Ebenheit von +-0.15 µm verwendet.

Mit dem großen Durchlicht können auch große Substrate von beiden Seiten oder mit Durchleuchtung gemessen werden. Auch bietet es die Möglichkeit einer Differenzmessung zum Ausnutzen der vollen Sensorgenauigkeit in Messanwendungen. Auch bei voll verfahrenem Tisch bleibt immer eine Öffnung von wenigstens 60mm x 60mm erhalten.

Schnellste Scananwendungen mit hoher Beschleunigung

  • Extrem schnelle Scanergebnisse bei einer Positioniergeschwindigkeit von 330 mm/s
  • Scannen hoher Lasten mit einer extremen Auflösung von 0.05 µm
  • Erreicht kostenoptimiert die vergleichbare Performance von Luftlagersystem
  • Wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe, danach ist nur ein unkompliziertes Nachschmieren nötig
 
  • Lebenserwartung bis zu zwei Millionen Vollhübe
 
  • Integrierte Kabelführung, steckbares Terminal

Anwendungsfelder

Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische

 

KDT600-EDLM   -385-EDLM
Verfahrweg [mm] 385
Wiederholgenauigkeit unidirektional [μm] ± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [μm] ± 0.4
Positioniergenauigkeit [μm] ± 16.6
Ebenheitsabweichung [μm] ± 10
Geradheitsabweichung [μm] ± 1.7
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 330
Spitzengeschwindigkeit [mm/s] 500
Max. Beschleunigung [m/s2] 3
Max. Last Fx [N] 25
Max. Last Fy [N] 25
Max. Last Fz [N] 230
Max. Lastmoment Mx [Nm] 11
Max. Lastmoment My [Nm] 11
Max. Lastmoment Mz [Nm] 10
Nicken [µrad] ± 280
Gieren [µrad] ± 45
Länge [mm] 600
Breite [mm] 600
Höhe [mm] 120
Durchlicht [mm] 400
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Ironless Dynamic Linear Motor
Feedback   Linearmesssystem, Linear Scale

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.


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