KDT600-EDLM
Kreuztische
XY Aperture Stage (Linearmotor), Hub 385 x 385 mm, Apertur 400, Repro 0.3 µm, Last 23 kg, Speed 500 mm/s

Scantisch mit großer Durchlichtöffnung
Dieser XY Präzisionskreuztisch ist für höchste Wiederholbarkeit konstruiert. Es lassen sich kostensparend Genauigkeiten mit Kompensation erreichten, die sonst nur Luftlagersystemen vorbehalten sind. Es werden polierte Kreuzrollenführungen für Wiederholbarkeit von Geradheit und Ebenheit von +-0.15 µm verwendet.
Mit dem großen Durchlicht können auch große Substrate von beiden Seiten oder mit Durchleuchtung gemessen werden. Auch bietet es die Möglichkeit einer Differenzmessung zum Ausnutzen der vollen Sensorgenauigkeit in Messanwendungen. Auch bei voll verfahrenem Tisch bleibt immer eine Öffnung von wenigstens 60mm x 60mm erhalten.
Schnellste Scananwendungen mit hoher Beschleunigung
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Anwendungsfelder
Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische
KDT600-EDLM | -385-EDLM | |
Verfahrweg | [mm] | 385 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [μm] | ± 0.3 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [μm] | ± 0.4 |
Positioniergenauigkeit | [μm] | ± 16.6 |
Ebenheitsabweichung | [μm] | ± 10 |
Geradheitsabweichung | [μm] | ± 1.7 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 330 |
Spitzengeschwindigkeit | [mm/s] | 500 |
Max. Beschleunigung | [m/s2] | 3 |
Max. Last Fx | [N] | 25 |
Max. Last Fy | [N] | 25 |
Max. Last Fz | [N] | 230 |
Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 11 |
Max. Lastmoment My | [Nm] | 11 |
Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 10 |
Nicken | [µrad] | ± 280 |
Gieren | [µrad] | ± 45 |
Länge | [mm] | 600 |
Breite | [mm] | 600 |
Höhe | [mm] | 120 |
Durchlicht | [mm] | 400 |
Motor | Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Ironless Dynamic Linear Motor | |
Feedback | Linearmesssystem, Linear Scale |

FMC300
Einbau-Modul für dynamische Anwendungen und hohe Lasten und Spannung.

FMC400/450
Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.

FMC250/280
Mehrachscontroller mit erhöhtem Strom und Spannung für Punkt–zu-Punkt Positionierung.

SPS
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ACS
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Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:
Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages Technischen Berater kontaktieren
Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).
Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.
Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.
Welche Oberflächen sind verfügbar?
Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.
Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:
- Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
- Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
- Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.
Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.
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