Miniatur-XYZ-Stage HT-KT210
XYZ Positioniertische - kompakt gestapelt

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Kompakte XYZ Stage mit integriertem Controller

Das integrierte XYZ-Positioniersystem kombiniert den Kreuztisch KT210 mit einem vertikalen Hubtisch HT210 (Z) zu einer extrem kompakten und vollständig integrierten Einheit. Die Stage ermöglicht präzise lineare Bewegungen in X und Y (je 100 mm) sowie eine feine Z-Positionierung mit 7 mm Hub. Durch die Integration von Motoren, Kabelmanagement und Controller in einem geschlossenen System eignet sich die Plattform ideal für Anwendungen mit begrenztem Bauraum und hohen Anforderungen an Präzision und Systemintegration.

Kompakte Bauform: nur 210 × 210 × 82 mm bei vollständiger 3-Achs-Integration

Wiederholgenauigkeit bis ±2,5 µm (Z)

Direktes Feedback über Linearmaßstäbe für alle Achsen

Hohe Dynamik bis 150 mm/s bei gleichzeitig kompakter Bauweise

Optionen:

Integrierter Controller mit USB- oder CAN-Schnittstelle
Remote-Zugriff und Systemintegration über CAN-Netzwerke
Hochauflösende Messsysteme bis 0,001 µm
Reinraumvarianten bis ISO 6 (höher auf Anfrage)
Beam variants: UV / DUV / EUV (Röntgen auf Anfrage)
Kundenspezifische Anpassung für Optik-, Sensor- oder Mikroskopie-Anwendungen

Integrierter Controller mit USB-Schnittstelle

Die Programmierung sowie die Anbindung erfolgen einfach über USB oder CAN-Bus. Die CAN-Schnittstelle erlaubt es dem Positioniertisch, Statusdaten zu senden und Rückmeldung über Programmzustände sowie des Systemzustands über das Netzwerk auszugeben. Realisiert wird dies durch einen integrierten, von außen unsichtbaren Controller mit eigenem Programmspeicher. Bei entsprechender Einbindung des CAN-Hosts kann der Anwender zudem per Remote-Zugriff über das Internet auf das Positioniersystem zugreifen.

Anwendungsfelder

Mikroskopie und bildgebende Verfahren, optische Inspektionssysteme, Sensor- und Kamerapositionierung, Laborautomation, Life-Science-Anwendungen, Halbleiter- und Waferinspektion, kompakte Mess- und Analysesysteme, Forschung & Entwicklung

Spezifikationen

HT-KT210		X	Y	Z
Standardsystem		KT210-10-EDLM3-USB	KT210-10-EDLM3-USB	HT210-8-DC-L-RS-232
Verfahrweg	[mm]	100	100	7
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.7	± 2.7	± 2.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 2.8	± 2.8	± 5.2
Positioniergenauigkeit	[µm]	± 13.6	± 13.6	± 2
Ebenheitsabweichung	[µm]	± 4	± 4	± 0.8
Geradheitsabweichung	[µm]	± 3	± 3	± 0.8
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	100	100	0.25
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	200	200	0.5
Max. Beschleunigung	[m/s²]	2	2	0.05
Max. Last Fx	[N]	45	45	45
Max. Last Fy	[N]	45	45	45
Max. Last Fz	[N]	45	45	45
Gewicht	[kg]	7.5
Länge x Breite x Höhe	[mm]	210 x 210 x 82
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenlos)	Dynamischer Linearmotor (eisenlos)	DC-Motor
Antrieb		Direktantrieb	Direktantrieb	Gleitgewindetrieb M5x0.5
Führung		Profilschiene	Profilschiene	Profilschiene
Messsystem		Linearmaßstab	Linearmaßstab	Linearmaßstab
Auflösung Messsystem		optional bis zu 0.1 µm, 0.001 µm oder besser
Optionen		Aufbau mit Traverse für Kameras oder Sensoren, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfer, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Varianten Reinraum		ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV (DUV, EUV, Röntgen auf Anfrage)
Varianten Vakuum		-

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.