X-Rz Positioniersystem (Reinraum ISO 4) | X Schrittmotor, Kugelgewindetrieb, Motor-Encoder | Theta Rundriemen, Winkelmesssystem | Apertur 12“ / 340 mm | Hub 205 mm x 360°
XY Theta System

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Dreheinheit mit Linearverschiebung und großem Durchlicht

Das Positioniersystem kombiniert eine präzise Dreheinheit (Rz) mit einer linearen X-Achse für für spiralförmige oder konzentrische Scanbahnen. Es bewegt Proben bis 12“ / 340 mm für die Qualitätskontrolle im Durchlichtverfahren: Die Probe wird kontinuierlich gedreht, während polarisiertes Infrarotlicht hindurchscheint.

  • Ideal für hochpräzise Transmissions-, Durchlicht- und optischer Messverfahren für Proben bis 12“ / 340 mm
  • Kontinuierliche Drehbewegung mit ± 0.5° Präzision 
  • Hochpräziser Kugelgewindetrieb 1412 für präzise, gleichmäßige lineare Vorschubbewegung
  • Messring mit Triggersignal zur exakten Positionszuordnung der Messdaten

Optionen:

  • Erweiterung Z-Achse
  • Konfiguration für Halbleitertechnik, Optik oder LifeScience
  • Stahlungsvarianten: UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
  • Varianten Reinraum bis ISO-Klasse 4 (höher auf Anfrage)
  • Entwicklung / Adaption für kundenspezifische Applikationen

Schnelle Rotation, keine Vibrationsübetragung durch Rundriemen

Die speziell entwickelte Rotary Stage ermöglicht eine vibrationsarme Bewegung der Durchlicht-Probe und sorgt damit für präzise, störungsfreie Messergebnisse. Eine Stage mit Rundriemenantrieb wird über einen hochgenauen Kugelgewindetrieb verfahren, sodass die gesamte Probenoberfläche – ähnlich wie bei einem Plattenspieler – spiralförmig oder konzentrisch abgetastet werden kann. Um höhere Drehgeschwindigkeiten bei gleichbleibender Laufruhe zu erreichen, werden die Schrittmotorantriebe mithilfe von Motorencodern im Closed Loop betrieben. Das Ergebnis: präzise, reproduzierbare Messergebnisse und eine deutlich gesteigerte Effizienz bei der Wafer-Inspektion oder sensibler Transmissions-, Durchlicht- und optischer Messverfahren biologischer Proben oder Zellen.

Anwendungsfelder

Positioniersystem zur Wafer-Inspektion, Spannungsanalyse in Halbleitermaterialien, optische Metrologie, Infrarot-Durchlichtmessung, Materialforschung, Qualitätssicherung in der Halbleiterproduktion, Positionierung und Drehung transparenter Mikrofluidik-Chips zur Echtzeit-Inspektion von Strömungs- und Partikelbewegungen unter IR- oder UV-Durchlicht, Rotation und lineares Scannen biologischer Präparate unter polarisiertem Licht zur Erkennung von Struktur- oder Spannungsänderungen in Gewebeproben (z. B. Kollagenfasern, Keratin)

 

782426:009.26   X Rz
Verfahrweg [mm; deg] 205 n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm; deg] ± 4 ± 0.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm; deg] ± 6 ± 0.5
Positioniergeschwindigkeit [mm/s; deg/s] 50 12000
Max. Geschwindigkeit [mm/s; deg/s] 100 18000
Max. Last [N]   50
Gewicht [kg] 50
Länge × Breite × Höhe [mm] 748 x 496 x 530
Apertur [Ø] 340 mm
Drehteller [Ø] 500 mm
Motor   Schrittmotor Schrittmotor
Antrieb   1412.502/5.16.304.362 R / Art-Nr.127283 Rundriemen
Spindelsteigung   5  
Feedback   Motor-Encoder Motor-Encoder, Winkelmesssystem
Optional features   Erweiterung Z-Achse, Konfiguration für Halbleitertechnik, Optik oder LifeScience, Prozessintegration, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten   bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Beam variants   UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus   magnetisch (magnetarm auf Anfrage)

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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Die Architektur eines Mehrachssystems beeinflusst maßgeblich Bauraum, Dynamik, Genauigkeit, Regelungsaufwand und Kosten. Die Bewertungsskala lautet: +++ gerring / ++ mittel / + groß.

Kriterium Stapel (XY-Z) Portal (X-YZ) Gantry (2X-YZ / 2XY-Z)
Bauraum (Aufstellfläche, Kosten für Struktur) +++  ++ 
Eigenfrequenz (Steifigkeit, Ausregelzeit, Empfindlichkeit auf äußere Störeinflüsse) + ++  +++
Dynamik (Geschwindigkeit, Beschleunigung, Taktzeit) + ++ +++
Genauigkeit + ++  +++
Anspruch an den Controller (Gantry-Mode, Kosten) +++ +++ ++
Gesamtkosten +++  +++  ++ 
  • Stapel (Stacked): Ideal für kompakte, kosteneffiziente Systeme mit hoher Dynamik; eingeschränkt bei sehr großen Arbeitsbereichen.
  • Portal: Ausgewogener Kompromiss aus Steifigkeit, Dynamik und Arbeitsraum; höherer mechanischer und regelungstechnischer Aufwand.
  • Gantry: Optimal für große Arbeitsbereiche und hohe Ebenheitsanforderungen; höchste Komplexität, Controller-Anforderungen und Kosten.

Neben diesen Grundarchitekturen bietet Steinmeyer Mechatronik auch kompakte Mehrachskombinationen sowie kundenspezifische Sonderlösungen – abhängig von Bauraum, Last, Dynamik und Genauigkeitsanforderungen.

Die Angaben auf der Webseite basieren auf einem rechtshändigen, systemorientierten Koordinatensystem. Die Bezeichnung der Achsen und Freiheitsgrade folgt der nachstehenden Zuordnung:

Freiheitsgrad Bezeichnung bei STM Beschreibung
Translation X X Verfahrrichtung vom Motor bzw. vom Kopfteil weg
Translation Y Y Seitliche Verfahrrichtung
Translation Z Z Vertikale Bewegung entgegen der Gravitation (↑)
Rotation um X (Rx) ω (Omega) Rollen
Rotation um Y (Ry) φ (Phi) Nicken
Rotation um Z (Rz) θ (Theta) Gieren

 

Gibt es ein einheitliches Koordinatensystem für die Achsbezeichnung bei Positionieraufgaben? 

Leider nicht. Insbesondere bei Rotationsfreiheitsgraden gibt es keine weltweit einheitliche Bezeichnung, und die Namenskonvention hängt stark vom Fachgebiet ab (z. B. Mechanik, Robotik, Luftfahrt, Maschinenbau, CNC-Technik, Optik).
Ich gebe Dir unten eine Übersicht, wie die Drehachsen (rotatorischen Freiheitsgrade) üblicherweise genannt werden – gegliedert nach Anwendungsbereichen.

1. Allgemeine mechanische Definition (DIN / ISO / Robotik / Mechatronik)

  • Translationsachsen: X, Y, Z
  • Rotationsachsen:
    • Rx – Rotation um X-Achse (→ Rollbewegung)
    • Ry – Rotation um Y-Achse (→ Nickbewegung)
    • Rz – Rotation um Z-Achse (→ Gierbewegung)

Diese Notation ist klar, eindeutig und in der Mechatronik, Robotik und Kinematik-Analyse weit verbreitet.
Sie wird z. B. in Denavit-Hartenberg-Parametern, CAD-Systemen (SolidWorks, Creo, Siemens NX) und Robotersprachen (KUKA, FANUC, UR) genutzt.

2. Luft- und Raumfahrt / Navigationssysteme (Eulerwinkel)

  • Roll (φ) – Rotation um X-Achse
  • Pitch (θ) – Rotation um Y-Achse
  • Yaw (ψ) – Rotation um Z-Achse

Diese Bezeichnungen sind stark etabliert, wenn es um Orientierung im Raum geht (z. B. bei Drohnen, Flugzeugen, Gimbals, Kameras).

Um die Verwirrung zu steigern, handelt es sich hier sogar um ein linkshändisches Koordinatensystem. Den Piloten ist täglich bewusst, dass die Gravitation zum Erdmittelpunkt zeigt und haben die Z-Koordinate deswegen positiv nach unten definiert.

Die Maschinenbauer finden das nicht positiv. Dort zeigt Z nach oben.

3. CNC-Technik / Werkzeugmaschinen (DIN 66217, ISO 841)

Hier ist die konventionelle Maschinenachsenbezeichnung:

Achse Bewegung Beschreibung Beispiel
X, Y, Z Translation Linearachsen Werkstückbewegung oder Werkzeugvorschub
A Rotation um X z. B. Schwenktisch, Rundachse  
B Rotation um Y z. B. Schwenkkopf  
C Rotation um Z z. B. Drehtisch  

Das ist die gängige Nomenklatur für Bearbeitungszentren, Drehtische, Hexapoden usw.

4. Optik / Messtechnik / Präzisionsmechatronik

In hochpräzisen Positioniersystemen wird oft die mathematisch saubere Notation aus der Kinematik bevorzugt:

  • Translationen: X, Y, Z
  • Rotationen: θx, θy, θz
    oder auch φx, φy, φz

Diese Schreibweise ist vorteilhaft, wenn die Rotationen im Mikrorad- oder µrad-Bereich angegeben werden (z. B. bei Taumel, Verkippung, Winkelfehlern).

Ja. Viele Mehrachssysteme sind modular aufgebaut und lassen sich an veränderte Anforderungen anpassen. Bereits in der Auslegung wird darauf geachtet, Erweiterungen, Umbauten oder funktionale Anpassungen zu ermöglichen.

  • Integration zusätzlicher Prozessköpfe
    • z. B. Mess-, Prüf-, Bearbeitungs- oder Handlingmodule
  • Austausch oder Ergänzung von Achsen und Traversen
    • Erweiterung des Arbeitsraums
    • Anpassung an neue Bewegungsprofile
  • Anpassung der Systemarchitektur
    • Umrüstung von Stapel- auf Portal- oder Gantry-Strukturen (anwendungsabhängig)
  • Mechanische Modifikationen
    • Anpassung von Verfahrlängen, Lastaufnahmen oder Schnittstellen
  • Optionale Funktions- und Ausstattungsupgrades
    • Encoder, Messsysteme, Bremsen
    • kundenspezifische Oberflächen und Beschichtungen
  • Anpassung an neue Prozess- oder Umgebungsanforderungen
    • Reinraum- oder Vakuumumgebungen
    • Life-Science-, Optik- oder Halbleiteranwendungen

Der Grad der Modularität hängt von der jeweiligen Systemarchitektur, den Genauigkeitsanforderungen und dem Einsatzbereich ab. In vielen Fällen ist eine nachträgliche Erweiterung wirtschaftlich sinnvoller als eine komplette Neuentwicklung.

  • Optimale Systemarchitektur: Auswahl geeigneter Architekturtypen (z. B. Stapel, Portal, Gantry) passend zur Anwendung
  • Gezielte Materialwahl: Einsatz strukturstabiler Materialien zur Minimierung von Schwingungseffekten
  • Durchdachte Konstruktionsprinzipien: Steife Strukturen, kurze Kraftflüsse und symmetrischer Aufbau
  • Hohe Eigenfrequenz: erleichtert das Ausregeln des Systems, reduziert die Empfindlichkeit gegenüber äußeren Störeinflüssen
  • Ergebnis:
    • bessere Dynamik
    • höhere Positioniergenauigkeit
    • stabiler Betrieb auch bei hohen Beschleunigungen

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - auf Anfrage bis ISO 2 - 1 - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages    Technischen Berater kontaktieren

Materialien

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet überwiegend Aluminium für die Struktur mehrachsiger Positioniersysteme.
In speziellen Fällen sind Stahl und auch Titan (z. B. magnetfreie Systeme) möglich.

Der Grund: Aluminium führt lokale Erwärmungen effizient ab, sodass sich das System schnell in einen thermisch eingeschwungenen Zustand einstellt – eine wesentliche Voraussetzung für stabile und hochgenaue Positioniersysteme.

Die geringere Steifigkeit von Aluminium im Vergleich zu Stahl wird konstruktiv kompensiert, z. B. durch:

  • eine leicht erhöhte Bauhöhe der Tische
  • den Einsatz von Hohlprofilen

Wichtig: Ein Aluminium- und ein Stahlbalken mit identischer Geometrie weisen unter Eigengewicht die gleiche Durchbiegung auf. Für spezielle Anforderungen – z. B. magnetfreie Anwendungen – kommen auch Titan-Ausführungen zum Einsatz.

Funktionale Oberflächen und Beschichtungen

Neben Standardoberflächen stehen zahlreiche kundenspezifische Oberflächen- und Beschichtungskonzepte zur Verfügung.
Diese sind gezielt darauf ausgelegt, sehr hohe Reinraumklassen zu erreichen – bis ISO 1–2, abhängig von Anwendung und Prozess.

Zur Erfüllung anspruchsvoller Prozessanforderungen entwickeln und qualifizieren wir anwendungsspezifische Funktionsbeschichtungen, unter anderem:

  • Nickel-Beschichtungen
  • PTFE- & KEPLA®-Beschichtungen
  • Fluorierte Schmierstoffe
  • Dicronite® / Dry-Film-Beschichtungen
  • Applikationsspezifische Beschichtungs-Kombinationen


Darüber hinaus sind verfügbar:

  • eloxiert (gereinigt)
  • alternative Farb-Eloxale
  • Aluminium blank, gereinigt
  • Bilatal
  • Nickel

Diese Oberflächen eignen sich z. B. für hohe Reinheitsanforderungen, chemische Beständigkeit (Life Science) oder prozesskritische Umgebungen.

Warum Funktionsbeschichtungen entscheidend sind (Vorher → Nachher)

  • Standardoberfläche → EUV-taugliche Oberfläche
  • Reflektierend → nicht reflektierend, minimiertes Streulicht
  • Begrenzte Gleitfähigkeit → maximales Gleiten & reduzierter Verschleiß
  • Basisschutz → chemische & korrosive Beständigkeit
  • One-size-fits-all → kostenoptimierte, applikationsspezifische Performance

Sonderoberflächen sind häufig erforderlich für UV / DUV / EUV-Anwendungen (Röntgen- oder Gamma-Anwendungen auf Anfrage).

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Mit dem Absenden dieses Formulars bestätige ich, dass ich die Datenschutzerklärung von Steinmeyer zur Kenntnis genommen habe.

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