PLT240
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782354:011.26 (VSS80)

Präzise Hochlast-Linear-Stage

HV / UV / DUV, ISO 6, Hub 50 - 850 mm, Last 100 kg, Repro 0.4 µm, Breite 240

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche im Hochvakuum, Schmierung flüssig bis 10^-7

Max. Ausheiztemperatur: 80°C

Optionen

Wiederholgenauigkeit mit Regelung auf Maßstab oder Open Loop für gerringere Genauigkeitsanforderungen
Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung
Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
Auslegung Stickstoffatmosphäre
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
Optional mit Controller FMC400/450

Anwendungsbereiche

Semiconductor Manufacturing & Handling, Hochlast-DUV-Positionierung, Positionierung für Scananwendungen, Transfer Positioniering, Halbleitertechnik, Ultrahochvakuum, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion

Spezifikationen

PLT240 (VSS80)		-200-SM-L	-300-SM-L	-400-SM-L	-500-SM-L	-750-SM-L	-850-SM-L
Verfahrweg	[mm]	200	300	400	500	750	850
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.4	± 0.4	± 0.4	± 0.4	± 0.4	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.5	± 0.5	± 0.5	± 0.5	± 0.5	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	15	15	15	15	15	15
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	30	30	30	30	30	30
Max. Last Fx	[N]	200	200	200	200	200	200
Max. Last Fy	[N]	1010	1010	1010	1010	1010	1010
Max. Last Fz	[N]	1010	1010	1010	1010	1010	1010
Breite	[mm]	240
Höhe	[mm]	95
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	80
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-7
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1416/5.20.485.580 R P3P
Spindelsteigung		5
Motor		Schrittmotor
Führung		Profilschiene
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0.1 µm, optional bis zu 0.001 µm
Optionale Zusatzausstattung		Wiederholgenauigkeit mit Regelung auf Maßstab oder Open Loop für gerringere Genauigkeitsanforderungen, Getriebe, Auslegung Stickstoffatmosphäre, Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		bis 10E-7 mbar im Hochvakuum (HV)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.