3-Achs-UHV-System LA97-2MT85
Vakuum / Reinraum XYZ Stapel Stages

782457:001.26

 

Kompaktes 3-Achs-UHV-System für Präzise Positionierung im Ultrahochvakuum

UHV 10E-11 mbar, UV / DUV / EUV / Röntgen, ISO 6 | Hub 180 x 25 x 10 mm | Repro ± 0.03 mm | Last 1 kg | Speed 5 mm/s

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: flüssig bis 10-8 mbar / trocken bis 10-11 mbar
  • Strahlung: UV, DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage
  • Trockenlaufendes UHV-Mehrachssystem mit langem X-Hub und präziser Z-Positionierung
  • Kompakter Aufbau mit Apertur von 28 mm für anspruchsvolle Integrationsaufgaben im Ultrahochvakuum
  • Magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung auf Anfrage
Optional konfigurierbar:
  • Angepasste Bohrungsraster und Kabelführung
  • Auslegung für UHV, Reinraum und Strahlung
  • Magnetisch, magnetarm oder magnetfrei auf Anfrage
  • Optional mit Controller FMC400/450

Hohe Stabilität für präzise Bewegungen im UHV

Dieses 3-Achs-UHV-System wurde für Anwendungen entwickelt, bei denen präzise lineare Positionierung im Ultrahochvakuum gefordert ist. Der Systemaufbau kombiniert eine lange X-Achse mit zwei kompakten Zusatzachsen zu einer robusten Lösung für Mess-, Justage- und Bearbeitungsaufgaben im Vakuum. Durch die UHV-geeignete Ausführung, die trockene Schmierung bis 10E-11 mbar, die kompakte Bauform und die präzise Wiederholgenauigkeit eignet sich das System für anspruchsvolle Integrationsaufgaben in wissenschaftlichen und industriellen UHV-Umgebungen.

Anwendungsfelder

Elektronenstrahlmikroskopie, Ionenstrahlmikroskopie, Ionenstrahlbearbeitung, Atomic-Force-Mikroskopie, wissenschaftliche Experimente und Messungen im Ultrahochvakuum

 

3-Achs-UHV-System LA97-2MT85   X Y Z
Standardsystem   LA97 MT85 MDT85
Verfahrweg [mm] [°] 180 25 10
Wiederholgenauigkeit unidirektional [mm] [°] ± 0.03 ± 0.03 ± 0.03
Wiederholgenauigkeit bidirektional [mm] [°] ± 0.05 ± 0.05 ± 0.05
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] [°/s] 5 5 5
Max. Geschwindigkeit [mm/s] [°/s] 7.5 7.5 7.5
Max. Beschleunigung [m/s2] [°/s2] 0.1 0.1 0.1
Max. Last [kg] 1
Länge [mm] 356
Breite [mm] 126
Höhe [mm] 126
Gewicht [kg] 3.4
Apertur [mm] 28
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Schmierung trocken [mbar] bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur [C°] 120°
Motor Piezomotor LEGS
Antrieb Reibung
Führung Kreuzrolle
Feedback Linearmesssystem
Material Aluminium UHV-gereinigt
Optionale Zusatzausstattung angepasste Bohrungsraster, Kabelführung
Varianten Reinraum bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus magnetisch, magnetarm, magnetfrei auf Anfrage
Varianten Vakuum bis 10E-11 mbar
Passende Controller FMC400/450

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

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Elger Matthes
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