3LA170
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
782475:030.26
Schwerlast XYZ-System (UHV)
3-Achs-Manipulator für Lasten bis 20 kg im Vakuum. Schrittmotorantrieb mit Gleitgewindespindeln und Messsystemen zur Positionsüberwachung.
| 782475:030.26 | X | Y | Z | |
| Standard System | LA170-060 | LA170-130 | LA200-100 | |
| Verfahrweg | [mm] | 60 | 130 | 100 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.4 | ± 0.4 | ± 0.4 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ±0.5 | ± 0.5 | ± 0.5 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 | 5 | 5 |
| Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 10 | 10 | 10 |
| Max. Last | [N] | 196 | 196 | 196 |
| Länge x Breite x Höhe | [mm] | 405 x 280 x 365 | ||
| Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 | ||
| Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 | ||
| Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 120 | ||
| Antrieb | Gleitgewindetrieb | |||
| Motor | Schrittmotor | |||
| Führung | Kreuzrolle Edelstahl, hybrid | |||
| Feedback | Linearmesssystem | |||
| Auflösung Messsystem | 0.1 µm, optional 0.001 µm | |||
| Optionale Zusatzausstattung | mit und ohne Messsystem, Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, Stabilisierung mit Piezobremse, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | |||
| Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | |||
| Varianten Strahlung | UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |||
| Varianten Magnetismus | magnetisch | |||
| Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV | |||
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