DT155
Vakuum / Reinraum Drehtische
782326:034.24
Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur
UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0003°, Speed 300°/s, Last 5 kg
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Optional konfigurierbar:
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Hochpräzise mit dynamischer Bildgebung
Dieser kompakte und flache Drehtisch erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen bei schnellen Prozessen. Durch das große Durchlicht von 79 mm / 3" können auch große Proben exakt positioniert, vermessen und analysiert werden. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.
Anwendungsfelder
Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung
| DT155 | -NM | |
| Verfahrweg | [deg] | n x 360 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [deg] | ± 0.0003 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [deg] | ± 0.0005 |
| Positioniergeschwindigkeit | [deg/s] | 200 |
| Max. Geschwindigkeit | [deg/s] | 300 |
| Max. Last | [N] | 49 |
| Länge | [mm] | 200 |
| Breite | [mm] | 155 |
| Höhe | [mm] | 35 |
| Gewicht | [kg] | 1.7 |
| Drehteller | [mm] | Ø 150 |
| Apertur | [mm] | Ø 79 (3") |
| Schmierung flüssig | [mbar] | bis 10-8 |
| Schmierung trocken | [mbar] | bis 10-11 |
| Max. Ausheiztemperatur | [deg] | 100 |
| Motor | Nanomotion (Piezo) | |
| Lager | 2 Dünnringlager, Edelstahl | |
| Feedback | Winkelmesssystem | |
| Auflösung Messsystem | 0.00005° | |
| Optionale Zusatzausstattung | kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | |
| Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | |
| Varianten Strahlung | UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |
| Varianten Magnetismus | magnetisch, magnetarm (magnetfrei auf Anfrage) | |
| Varianten Vakuum | alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV |
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Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?
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Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.
Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit.
Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.
Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:
- Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
- Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
- Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
- Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
- Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out
Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.
Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.
Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:
- der gewählten Mechanik und Lagerung
- den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
- Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
- Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
- Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung
Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.
Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:
- Alle Teile vakuumgereinigt
- Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
- Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
- Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
- Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
- Kapton- oder PTFE-Verkabelung
- Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
- Unbehandelte Aluminiumoberflächen
- Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
- Ohne Abdeckungen
- Montiert in unserem Reinraum
- Endgereinigt
- Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung
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