PLT165-DLM
Lineartische
High Performance Stage (Linearmotor), Hub 200 - 750 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 6 kg, Speed 1155 mm/s
Robuster Präzisionstisch
Das Antriebskonzept dieses Lineartisches basiert auf einem Linearmotor und ermöglicht dadurch hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten. Damit eignet sich der präzise Lineartisch ideal für horizontale Anwendungen, in welchen diese Eigenschaften gefordert werden.
Gemacht für industrielle Anwendungen
Mit einer Breite von 165 mm ist der PLT165 der schmalste Tisch seiner Baureihe. Er wird sowohl als Einzelachse als auch als Top-Achse in Mehrachssystemen verwendet. Das geschützte Gehäuse und die Metallbandabdeckung gewährleisten Staub- und Partikelschutz in industriellen Umgebungen.
Vielfältige Anwendungsfelder
Der PLT165 mit dynamischem Linearmotor eignet sich für alle Bereiche der Industrie, in denen die präzise Zustellung von Proben, Sensoren oder Optiken notwendig ist - beispielsweise in der Laserbearbeitung, Halbleitertechnik oder Messtechnik.
| PLT165 | -200-DLM-L | -300-DLM-L | -400-DLM-L | -500-DLM-L | -750-DLM-L | |
| Verfahrweg | [mm] | 200 | 300 | 400 | 500 | 750 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [μm] | ± 0.4 | ± 0.4 | ± 0.4 | ± 0.4 | ± 0.4 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [μm] | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 0.5 |
| Positioniergenauigkeit | [μm] | ± 1.5 | ± 1.8 | ± 2 | ± 2.2 | ± 2.8 |
| Ebenheitsabweichung | [μm] | ± 6 | ± 9 | ± 12 | ± 15 | ± 25 |
| Geradheitsabweichung | [μm] | ± 3 | ± 4.5 | ± 6 | ± 7.5 | ± 11 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 470 | 530 | 580 | 630 | 770 |
| Max. speed | [mm/s] | 705 | 795 | 870 | 945 | 1155 |
| Max. Beschleunigung | [m/s2] | 9.5 | 11 | 12 | 13 | 15 |
| Max. Last Fx | [N] | 60 | 60 | 60 | 60 | 60 |
| Max. Last Fy | [N] | 520 | 520 | 520 | 520 | 520 |
| Max. Last Fz | [N] | 520 | 520 | 520 | 520 | 520 |
| Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 13 | 13 | 13 | 13 | 13 |
| Max. Lastmoment My | [Nm] | 19 | 19 | 19 | 19 | 19 |
| Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 25 | 25 | 25 | 25 | 25 |
| Nicken | [µrad] | ± 30 | ± 35 | ± 40 | ± 45 | ± 55 |
| Gieren | [µrad] | ± 14 | ± 17 | ± 20 | ± 20 | ± 25 |
| Auflösung | [µm] | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| L1 | [mm] | 500 | 600 | 700 | 800 | 1050 |
Verwandte Produkte
Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:
Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages Technischen Berater kontaktieren
Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).
Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.
Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.
Welche Oberflächen sind verfügbar?
Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.
Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:
- Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
- Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
- Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.
Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.
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