KT500-EDLM
Kreuztische

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 350 x 350 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 300 mm/s
KT500-EDLM

 

Flach, präzise und schnell

Der Kreuztisch KT500 besticht nicht nur durch ein sehr flaches und kompaktes Design. Dank 350 mm Verfahrweg sind auch große Substrate und Teile vollflächig scanbar. Er ist so konstruiert, dass alle Ablaufparameter exakt wiederholbar sind und eine vergleichbare Performance von Luftlagersystemen erreicht wird. Dank eines über eine Steckverbindung trennbaren Kabelinterface ist eine einfache Montage und ein wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe möglich.

Hochdynamisches XY-System mit hoher Lebensdauer

  • Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis zu 0.3 µm
  • Zeitersparnis beim Start-Stopp-Betrieb durch Spitzengeschwindigkeiten bis 400 mm/s und einer Beschleunigung von 1G
  • Wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe, danach ist nur ein unkompliziertes Nachschmieren nötig
  • Lebenserwartung bis zu zwei Millionen Vollhübe
  • Integrierte Kabelführung, steckbares Terminal
  • Erhältlich mit bis zu zwei elektrodynamischen Linearmotoren je Richtung: 2+2 Motoren für ein besonders schnelles Scan-Ergebnis, 2+1 Motoren für eine gleiche Dynamik

Anwendungsfelder

Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische

 

KT500   -350-EDLM-L
Verfahrweg [mm] 350
Wiederholgenauigkeit unidirektional [μm] ± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [μm] ± 0.4
Positioniergenauigkeit [μm] ± 10
Ebenheitsabweichung [μm] ± 10
Geradheitsabweichung [μm] ± 5
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 200
Spitzengeschwindigkeit [mm/s] 300
Max. Beschleunigung [m/s2] 1000
Max. Last Fx [N] 25
Max. Last Fy [N] 25
Max. Last Fz [N] 100
Max. Lastmoment Mx [Nm] 11
Max. Lastmoment My [Nm] 11
Max. Lastmoment Mz [Nm] 11
Nicken [µrad] ± 190
Gieren [µrad] ± 95
Länge [mm] 500
Breite [mm] 500
Höhe [mm] 90
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Ironless Dynamic Linear Motor
Feedback   Linearmesssystem, Linear Scale

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.


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