MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod | Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Hub 2 mm x 1.5° x 1.5°
XYZ Tip-Tilt System

Art. ID 225692 / 782497:008.26 (-5)

Tripod mit Durchlicht

Als Ergänzung zum Aligner MP200-5, welcher ein Verstellen in fünf Freiheitsgraden ermöglicht, wurde dieser Aligner mit drei Freiheitsgraden konstruiert. Er besteht intern aus drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen, die mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden sind. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen.

Ideal für die optische und aktive Ausrichtung

Leichte Ansteuerbarkeit einzeln oder parallel

Gutes Preis-Leistungs-Verhältnis und sehr hohe Lebensdauer

Optionen:

Drehung um die Hauptachse mit einem zusätzlichen Drehtisch
Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
Erweiterte Verfahrwege in XY-Richtung
Ausführung für Reinraum bis ISO Klasse 4, Labor oder Produktion
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Einsatz in der Waferinspektion und für hochgenaue Montageaufgaben

Da oft eine Ausrichtung der Werkstücke ausreichend ist, kann die vertikale Verstellung, insbesondere in der Optikmontage, zum Ausgleich verschieden hoher Linsepakete genutzt werden. Zudem lässt sich aus diesem Manipulator und einem Kreuz-Durchlicht-Tisch oder Kreuztisch ein 5-Achs-Manipulator mit großem Verfahrweg in XY realisieren. Als XY-Systeme kommen dafür beispielsweise der KDT310, KT310 oder der KDT235 in Frage.

Spezifikationen

MP200-3		Z	Rx	Ry
Standard System		MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC
Verfahrweg	[mm; deg]	4	3	3
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.5	± 0.00005	± 0.00005
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 2.5	± 0.00020	± 0.00020
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1	0.8	0.8
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1.8	1.5	1.5
Max. Last	[N]	20
Länge x Breite x Höhe	[mm]	200 x 200 x 80
Apertur	[mm]	Ø 45
Gewicht	[kg]	6.5
Antrieb		Gleitgewinde, Riemen	Gleitgewinde, Riemen	Gleitgewinde, Riemen
Spindel Typ		M5x0,5	M5x0,5	M5x0,5
Steigung		0.5	0.5	0.5
Motor		DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor
Feedback		Motor Encoder	Motor Encoder	Motor Encoder
Messsystem Auflösung		0.1 µm (optional bis zu 0.001 µm)
Material		Aluminium Eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		Drehtisch, Probenhalter, kalbellose Energiezuführung für Endlosdrehung
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum		bis 10E-6 mbar (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Passende Controller

FMC400/450

Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.

SPS

Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff

Integrierter Controller

Wir unterstützen die Integration des Motion Controllers direkt in das Positioniersystem.

Downloads

STM-MP200-3_multi-axes-aligner_step-file.zip

Verwendete Standard Komponenten

MT63-DC

Lineartisch 63 x 63 x 26 mm, Hub bis 25 mm, Repro ± 0.8 µm, Last 1 kg, Speed 3.6 mm/s

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MP70-3

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
Piezomotoren wie Piezo-Legs^® oder Nanomotion^®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur^® bzw. Zeromet^® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.