XY-Z Mikroskopie Stage (ISO 6) | XY Schrittmotor, Kugelgewindetrieb, Kreuzrolle | Z manuell | Hub 200 × 200 × M mm, Repro 3 µm, Last 11 kg, Speed 30 mm/s
XY-Z Mehrachs-Portale
782300:265.26
Hochstabile Positionierung für Mikroskopie- und Sensoraufgaben
Das Positioniersystem ermöglicht hochpräzise lineare Bewegungen in X und Y sowie eine optionale Z-Positionierung zur exakten Ausrichtung von Mikroskopen, Kameras oder Sensoren relativ zur Probe. Während die Sensorik ortsfest montiert ist, wird das Objekt mit hoher Stabilität und Wiederholgenauigkeit verfahren. Diese Bewegungsaufgabe ist ideal für bildgebende, optische und sensorbasierte Messverfahren, bei denen Lage, Fokus und Scanposition exakt kontrolliert werden müssen.
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Optionen:
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Individuelle Erweiterungen und Anpassungen
Das System kann gezielt an unterschiedliche optische, biologische oder sensorische Messaufgaben angepasst werden. Erweiterungen umfassen unter anderem spezielle Sensorhalterungen, Fokusachsen, angepasste Steuerungskonzepte, Reinraumtauglichkeit, Temperatur- oder Vibrationsmanagement sowie mechanische Schnittstellen für kundenspezifische Probenhalter oder Mikroskopaufbauten.
Anwendungsfelder
Halbleiterinspektion und Wafer-Mikroskopie, hochauflösende Licht- und Fluoreszenzmikroskopie, Biotechnologie und Life Science, Zell- und Gewebeanalytik, Lab-on-a-Chip-Inspektion, Mikrofluidik, Material- und Oberflächenanalyse, Sensorcharakterisierung, optische Metrologie, Forschung & Entwicklung
| 782300:265.26 | X | Y | Z | |
| Verwendetes Standardsystem | KT310-SM | KT310-SM | manuell | |
| Verfahrweg | [mm] | 200 | 200 | |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 3 | ± 3 | |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 5 | ± 5 | |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 30 | 30 | |
| Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 60 | 60 | |
| Max. Last | [N] | 110 | 110 | |
| Breite XY Stage | [mm] | 310 | 310 | |
| Länge x Breite x Höhe | [mm] | 550 x 315 x 550 mm | ||
| Motor | Schrittmotor | Schrittmotor | ||
| Antrieb | 1214.590/1.8.245.295 P3P | 1214.590/1.8.245.295 P3P | ||
| Führung | Kreuzrolle | Kreuzrolle | ||
| Feedback | Open Loop | Open Loop | ||
| Optional features | Anpassbare Verfahrwege und Systemabmessungen, Ausführung mit oder ohne Gestell sowie Grundplatte aus Granit oder Aluminium, Reinraumkonfigurationen bis ISO-Klasse 6 (höher auf Anfrage), individuelle Kabelführung für Sensor- und Kamerasysteme, Integration in kundenspezifische Gesamtanlagen | |||
| Reinraum Varianten | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | |||
| Beam variants | - | |||
| Varianten Magnetismus | magnetisch | |||
| Varianten Vakuum | auf Anfrage | |||
Verwendete Standard Komponenten
KT310-SM
KGT 1214
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