XY-Theta-Luftlager-Reinraum-Positioniersystem | Linearmotor, Schrittmotor, Profilschiene, Luftlager | Hub XY 200 x 620 mm, Rz n x 360°
XY Theta System
782481:042.26, ID236789
XY-Rz-Luftlager-System für hochpräzise Positionierung im Reinraum
Dieses hochpräzise Positioniersystem bietet drei Freiheitsgrade: X, Y, Rz (Rotation). Es kombiniert reibungsfreie Luftlagerachsen in XY und Rz mit einer mechanisch geführten Sensorplattform, die eine Schwenkbewegung um die Y-Achse erlaubt. Das XY-Rz-Luftlager-System kombiniert präzise horizontale Bewegungen mit rotationssymmetrischer Genauigkeit innerhalb einer sehr gerringen Bauhöhe.
Hochkompaktes Mehrachssystem für schwere Optiken
|
|
|
|
|
Optional erweiterbar:
|
Anwendungsfelder
Positionierung für Optik- und Wafer-Vermessung, eUV-Inspektion und AFM-Anwendungen, Panel-Tester, Wafer Stepper & Prober, Alignment & Fiducial Detection
782481:042.26, ID236787 | X | Y | Rz | |
Verfahrweg | [mm]; [deg] | 200 | 620 | unbegrenzt |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm]; [deg] | ± 1.8 | ± 1.0 | ± 0.00015 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm]; [deg] | ± 2.5 | ± 1.5 | ± 0.0002 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 65 | 100 | 67.5 |
Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 130 | 200 | 135 |
Max. Beschleunigung | [m/s2] | 0.4 | 0.6 | 0.05 |
Max. Last | [N] | (1500) | (1500) | 1500 |
Max. Probengröße | [Ø] | 800 mm | ||
Länge x Breite x Höhe | [mm] | 2000 x 1800 x 500 | ||
Motor | Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Schrittmotor | |||
Führung | Profilschiene, Luftlager | |||
Feedback | Linearmesssystem, Winkelmesssystem | |||
Material | Aluminium eloxiert, Edelstahl pulverbeschichtet | |||
Optionale Zusatzausstattung | Aufbau mit Traverse für Mikroskope mit Schwenk- und Fokussystem (Ry + Z), Gehäuse, Vorbereitung für Sperrluft, Bremse, kundenspezifsche Adapter, angepasste Bohrungsraster, angepasste Kabel und Stecker. | |||
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage) | |||
Varianten Strahlung | UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |||
Varianten Magnetismus | magnetisch | |||
Varianten Vakuum | - |
Verwendete Standard Komponenten
KGT 1214

Verwandte Produkte
Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:
Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren
Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.
Welche Oberflächen sind verfügbar?
Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.
Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:
- Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
- Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
- Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.
Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.
Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung?
Jetzt den ersten 3D Entwurf in nur wenigen Tagen erhalten:

Katja Weißbach
Beratung
T +49 351 88585-64
E-Mail

Ronald Schulze
Beratung, Projektmanagement
& Engineering
T +49 351 88585-67
E-Mail

Francisco Samuel
Beratung &
Projektmanagement
T +49 351 88585-85
E-Mail

Elger Matthes
Beratung, Konzepte, Innovation & Engineering
T +49 351 88585-82
E-Mail
Unsere Referenzen
