X-Rz Positioniersystem (Reinraum ISO 4) | X Schrittmotor, Kugelgewindetrieb, Motor-Encoder | Theta Rundriemen, Winkelmesssystem | Apertur 12“ / 340 mm | Hub 205 mm x 360°
XY Theta System
782426:009.26
Dreheinheit mit Linearverschiebung und großem Durchlicht
Das Positioniersystem kombiniert eine präzise Dreheinheit (Rz) mit einer linearen X-Achse für für spiralförmige oder konzentrische Scanbahnen. Es bewegt Proben bis 12“ / 340 mm für die Qualitätskontrolle im Durchlichtverfahren: Die Probe wird kontinuierlich gedreht, während polarisiertes Infrarotlicht hindurchscheint.
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Optionen:
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Schnelle Rotation, keine Vibrationsübetragung durch Rundriemen
Die speziell entwickelte Rotary Stage ermöglicht eine vibrationsarme Bewegung der Durchlicht-Probe und sorgt damit für präzise, störungsfreie Messergebnisse. Eine Stage mit Rundriemenantrieb wird über einen hochgenauen Kugelgewindetrieb verfahren, sodass die gesamte Probenoberfläche – ähnlich wie bei einem Plattenspieler – spiralförmig oder konzentrisch abgetastet werden kann. Um höhere Drehgeschwindigkeiten bei gleichbleibender Laufruhe zu erreichen, werden die Schrittmotorantriebe mithilfe von Motorencodern im Closed Loop betrieben. Das Ergebnis: präzise, reproduzierbare Messergebnisse und eine deutlich gesteigerte Effizienz bei der Wafer-Inspektion oder sensibler Transmissions-, Durchlicht- und optischer Messverfahren biologischer Proben oder Zellen.
Anwendungsfelder
Positioniersystem zur Wafer-Inspektion, Spannungsanalyse in Halbleitermaterialien, optische Metrologie, Infrarot-Durchlichtmessung, Materialforschung, Qualitätssicherung in der Halbleiterproduktion, Positionierung und Drehung transparenter Mikrofluidik-Chips zur Echtzeit-Inspektion von Strömungs- und Partikelbewegungen unter IR- oder UV-Durchlicht, Rotation und lineares Scannen biologischer Präparate unter polarisiertem Licht zur Erkennung von Struktur- oder Spannungsänderungen in Gewebeproben (z. B. Kollagenfasern, Keratin)
| 782426:009.26 | X | Rz | |
| Verfahrweg | [mm; deg] | 205 | n x 360 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm; deg] | ± 4 | ± 0.5 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm; deg] | ± 6 | ± 0.5 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 50 | 12000 |
| Max. Geschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 100 | 18000 |
| Max. Last | [N] | 50 | |
| Gewicht | [kg] | 50 | |
| Länge × Breite × Höhe | [mm] | 748 x 496 x 530 | |
| Apertur | [Ø] | 340 mm | |
| Drehteller | [Ø] | 500 mm | |
| Motor | Schrittmotor | Schrittmotor | |
| Antrieb | 1412.502/5.16.304.362 R / Art-Nr.127283 | Rundriemen | |
| Spindelsteigung | 5 | ||
| Feedback | Motor-Encoder | Motor-Encoder, Winkelmesssystem | |
| Optional features | Erweiterung Z-Achse, Konfiguration für Halbleitertechnik, Optik oder LifeScience, Prozessintegration, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS) | ||
| Reinraum Varianten | bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage) | ||
| Beam variants | UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) | ||
| Varianten Magnetismus | magnetisch (magnetarm auf Anfrage) | ||
Verwendete Standard Komponenten
KGT 1412 / 1432
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Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:
Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren
Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.
Welche Oberflächen sind verfügbar?
Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.
Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:
- Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
- Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
- Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.
Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.
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