MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 2 x 2 x 2 mm, Ryz 1.5 x 1.5°
XYZ Tip-Tilt System

782497:013.26

Extrem hochpräziser 5-Achs-Versteller

Der motorisierte Zentrier- und Nivelliertisch bewegt seine fünf Freiheitsgrade extrem gleichbleibend. Das System kann in allen drei Raumachsen verfahren werden. Zusätzlich lässt es sich in zwei Winkeln in der Ebene verkippen.

extrem hohe Auflösung bis 0.007 µm

maximale Positioniergenauigkeit mit ± 1.5° in R_x und R_y

Belastbarkeit bis 20 N

feinste Zustellbewegungen bis 0.07 µm durch robuste, selbsthaltende Gleitgewindeantriebe

höchste Störungsresistenz durch die Lagerung durch Festkörpergelenke

absolut gleichbleibende Wiederholgenauigkeit bis ± 0.5 µm über alle Freiheitsgrade

sehr kompakt durch die integrierte 5-Achs-Ansteuerelektronik

einfache Stromversorgung und eine Standard-Datenschnittstelle bilden die Verbindung zum übergeordneten System

Drahtlose Daten- und Energieübertragung

In Kombination mit einem hochgenauen Drehtisch werden Rundheitsmessungen an zylindrischen Objekten ermöglicht. Als einziger Positioniertisch dieser Art werden die Energie- und Ansteuerungsdaten hierbei drahtlos übertragen. Hierdurch werden präzise Ablaufwerte ohne störende Effekte durch Schleifkontakte realisiert – eine Bedingung für den Einsatz in der modernen Messtechnik.

Anwendungsfelder

Hochgenaue Ausrichtung von Objekten in Fertigungs- und Messeinrichtungen, Rotationstomographie, CT-Vermessungen, 3D-Inspektion von Bauteilen, Rundheitsmessgeräte, Halbleterinspektion, optische Zentriersysteme, Kalibrierungssysteme oder allgemeine Inspektionssysteme.

Specifications

MP200-5 (782497:014.26)		X	Y	Z	Rx	Ry
Standard System		MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC
Verfahrweg	[mm; deg]	4	4	4	3	3
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.5	± 0.5	± 0.5	± 0.00005	± 0.00005
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 2.5	± 2.5	± 2.5	± 0.00020	± 0.00020
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1	1	1	0.8	0.8
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1.8	1.8	1.8	1.5	1.5
Max. Last	[N]	20
Länge x Breite x Höhe	[mm]	235 x 200 x 100
Apertur	[mm]	Ø 45
Gewicht	[kg]	10
Antrieb		Gleitgewinde, Riemen
Spindel Typ		M5x0,5
Motor		DC-Motor
Feedback		Motor Encoder
Messsystem Auflösung		0.1 µm (optional bis zu 0.001 µm)
Material		Aluminium Eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		Drehtisch, Probenhalter, kalbellose Energiezuführung für Endlosdrehung
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum		bis 10E-6 mbar (höher auf Anfrage)

Controllers

Integrierter Controller

Wir unterstützen die Integration des Motion Controllers direkt in das Positioniersystem.

SPS

Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff

Downloads

CAD-Daten-Manipulator-MP200-5-Steinmeyer-Mechatronik.zip

Used Standard Components

MT63-DC

Lineartisch 63 x 63 x 26 mm, Hub bis 25 mm, Repro ± 0.8 µm, Last 1 kg, Speed 3.6 mm/s

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Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
Piezomotoren wie Piezo-Legs^® oder Nanomotion^®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur^® bzw. Zeromet^® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.