XYZ Transfer Stage
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

782475:053.26, 782475:039.26, 782475:001.26
XYZ Transfer Stage - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

 

Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90

UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last

Diese schnelle Transferachse eignet sich für präzise, schnelle und langlebige Anwendungen in Ultrahochvakuum. Auch werden wegen der sehr niedrigen Ausgasung und Partikelarmut die Anforderungen an einen Einsatz unter extrem ultravioletter Strahlung erfüllt. Die Achsen sind in den Größen LA80, LA95, LA170 erhältlich und für Lasten bis 20 kg im Vertikalbetrieb ausgelegt. Diese Achskombination entstand im Rahmen des “tOMography Nano crYo (OMNY)” mit dem Paul Scherrer Institut (PSI).

Präzise, schnell und langlebig im Ultrahochvakuum

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Lebensdauer im Kilometerbereich ohne Flüssigschmierung
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Verfügbar als magnetische Ausführung

Optionen:

  • Verfahrwege spezifisch anpassbar auf Ihre Anwendung bis 510 x 80 x 80 mm
  • Ohne Feedback als reines Schrittmotorsystem bis 5 µm Wiederholgenauigkeit
  • Überragender Stillstand im Nanometerbereich durch zusätzliche Piezo-Zangenbremsen in Z und Y
  • Kugelgewindetrieb in Z und Y für höhere Geschwindigkeiten und Lebensdauer bei Schmierung
  • Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 Klasse 4 (bis Klasse 1 auf Anfrage)

 

Anwendungsfelder

Transportsysteme im Ultrahochvakuum, Vakuumanwendungen mit Trockenschmierung, Transfersysteme, Vakuum Feinversteller, EUV Lithografie, Strahlformung für Belichtungsprozesse, Oberflächenanalyse, Sensorpositionierung, Massenspektrometrie, Beschichtungsprozesse, Schichtdicken- und Schichtratenmessungen, Grundlagenforschung, Labortechnik, Analytik
 

Referenzen

OMNY—A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://pubs.aip.org/aip/rsi/article/89/4/043706/362160/OMNY-A-tOMography-Nano-crYo-stage

 

782475:001.26   X Y Z
Verfahrweg [mm] 510 40 80
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 0.4 ± 0.4 ± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 0.5 ± 0.5 ± 0.5
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 50 4 4
Max. Last [N] 30 30 30
Feedback   Linearmesssystem Linearmesssystem Linearmesssystem
Motor   Schrittmotor Schrittmotor Schrittmotor
Führung   Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Länge [mm] 706
Breite [mm] 357
Höhe [mm] 260
Vakuum [mbar] bis 10-11  HV/UHV/EUV
Schmierung flüssig [mbar] bis zu 10-8
Schmierung trocken [mbar] bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur [deg] 120
Magnetismus Varianten   magnetisch | magnetarm | magnetfrei

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Verwendete Standard Komponenten

KGT 1412 / 1432

Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

Übersicht Standard-Stages     Technischen Berater kontaktieren

Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

Klicken Sie hier für mehr Systeme:
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Elger Matthes
Beratung, Konzepte, Innovation & Engineering
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