PLT165
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782355:082.26

Präzise Hochlast-Linear-Stage

UHV / UV / DUV, ISO 6, Hub 200 - 850 mm, Last 100 kg, Repro 0.4 µm, Breite 165

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche im Hochvakuum, Schmierung flüssig bis 10^-10mbar

Max. Ausheiztemperatur: 80°C

Optionen:

Wiederholgenauigkeit mit Regelung auf Maßstab oder Open Loop für gerringere Genauigkeitsanforderungen
Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
Auslegung Stickstoffatmosphäre
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
Optional mit Controller FMC400/450

Anwendungsbereiche

Semiconductor Manufacturing & Handling, Hochlast-DUV-Positionierung, Positionierung für Scananwendungen, Transfer Positioniering, Halbleitertechnik, Ultrahochvakuum, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion

Spezifikationen

782355:082.26		-200-SM-L	-300-SM-L	-400-SM-L	-500-SM-L	-750-SM-L	-850-SM-L
Verfahrweg	[mm]	200	300	400	500	750	850
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.4	± 0.4	± 0.4	± 0.4	± 0.4	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.5	± 0.5	± 0.5	± 0.5	± 0.5	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	15	15	15	15	15	15
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	30	30	30	30	30	30
Max. Beschleunigung	[m/s²]	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1
Max. Last	[N]	1010	1010	1010	1010	1010	1010
Breite	[mm]	165
Höhe	[mm]	62
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	80
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-10
Motor		Schrittmotor
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1412.579/5.16.730.787R P5P
Spindelsteigung		5
Führung		Profilschiene
Feedback		Linearmesssystem
Material		Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		Wiederholgenauigkeit mit Regelung auf Maßstab oder Open Loop für gerringere Genauigkeitsanforderungen, Getriebe, Auslegung Stickstoffatmosphäre, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		bis 10E-10 mbar im Ultra-Hochvakuum (UHV)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.