PLT165
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782355:082.26
PLT165 - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

 

Präzise Linear Stage

HV 10E-8 mbar, DUV, ISO 6 | Hub 100 – 500 mm | Repro 3.9 µm | Last 9 kg | Speed 50 mm/s

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche im Hochvakuum, Schmierung flüssig bis 10-8 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
  • Wiederholgenauigkeit mit Regelung auf Maßstab oder Open Loop für gerringere Genauigkeitsanforderungen
  • Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
  • Auslegung Stickstoffatmosphäre
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
  • Optional mit Controller FMC400/450

Ideal für vertikale Anwendungen

Der Spindelantrieb garantiert in Kombination mit einer Spindelbremse optimale Selbsthaltung, sodass im stromlosen Zustand eine vertikale Position gehalten werden kann. Der PLT165 lässt sich ideal mit dem Hubtisch HT160 kombinieren.

Anwendungsbereiche

Semiconductor Manufacturing & Handling, UHV-Positionierung, Positionierung für Scananwendungen, Transfer Positioniering, Halbleitertechnik, Ultrahochvakuum, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion

 

782355:082.26   -100-SM -200-SM -300-SM -400-SM -500-SM
Verfahrweg [mm]  100 200 300 400 500
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 3.9 ± 3.9 ± 3.9 ± 3.9 ± 3.9
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 4.4 ± 4.4 ± 4.4 ± 4.4 ± 4.4
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 30 30 30 30 30
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 50 50 50 50 50
Max. Beschleunigung [m/s2] 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
Max. Last [N] 94 94 94 94 94
Länge [mm] 400 500 600 700 800
Breite [mm]  165
Höhe [mm]  62
Max. Ausheiztemperatur [deg] 120
Schmierung flüssig [mbar] bis 10-8
Motor   Schrittmotor
Antrieb   Kugelgewindetrieb 1412.579/5.16.730.787R P5P
Spindelsteigung   5
Führung   Profilschiene
Feedback   Open Loop (optional mit Linearmaßstab)
Material   Aluminium eloxiert, Edelstahl
Optionale Zusatzausstattung   Wiederholgenauigkeit mit Regelung auf Maßstab oder Open Loop für gerringere Genauigkeitsanforderungen, Getriebe, Auslegung Stickstoffatmosphäre, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch
Varianten Vakuum    bis 10E-8 mbar im Hochvakuum (HV)

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Mit dem Absenden dieses Formulars bestätige ich, dass ich die Datenschutzerklärung von Steinmeyer zur Kenntnis genommen habe.

Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

Übersicht Standard-Stages     Technischen Berater kontaktieren

Nur bestimmte Materialien, Komponenten und Schmierstoffe genügen den Anforderungen an niedriges Ausgasen. Oft ist die Verwendung flüssiger Schmierstoffe nicht möglich. Auch stellt der Ausbackprozess eine hohe Belastung für das Positioniersystem dar, die auftretenden thermischen Spannungen bei Temperaturen bis 140°C müssen beachtet werden. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt im Reinraum. Für Systeme mit Magnetfreiheit schränkt sich die Materialauswahl noch wesentlich weiter ein.

Sowohl für UHV-Systeme für höchsten Anspruch als auch für magnetfreie Baugruppen halten wir eine Vielzahl von Lösungen bereit. 

Die kundenspezifische Anpassung unserer Positioniersysteme an bestehende Kammern oder Setups erfolgt in mehreren strukturierten Schritten. Ziel ist eine nahtlose Integration bei maximaler Präzision, Reinraum- bzw. Vakuumtauglichkeit und Betriebssicherheit.

Typischerweise umfasst der Anpassungsprozess:

  • Analyse der Einbausituation (Bauraum, Schnittstellen, Lasten, Bewegungsfreiheiten, Umgebungsbedingungen)
  • Abstimmung auf die Applikation hinsichtlich Vakuum-, Reinraum-, Magnetismus- oder Strahlungsanforderungen
  • Mechanische Anpassungen wie kundenspezifische Adapter, Grundplatten, Bohrbilder oder Bauhöhen
  • Anpassung von Antriebs-, Mess- und Kabelkonzepten inkl. Steckerführung, Durchführungen und Kabelführung
  • Material- und Schmierstoffauswahl abgestimmt auf Ausgasung, Partikelanforderungen und Bake-out


Die Auslegung erfolgt mittels 3D-Konstruktion und Simulation, auf Wunsch ergänzt durch Prototypen, Funktionstests sowie Reinraum- oder Vakuumvorbereitung. So stellen wir sicher, dass das System optimal in das bestehende Setup integriert werden kann – ohne Kompromisse bei Präzision oder Prozessstabilität.

Unsere Positioniersysteme sind für unterschiedliche Reinraumklassen gemäß ISO 14644-1 ausgelegt und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Standardmäßig realisieren wir Systeme für ISO 6 bis ISO 4. Für besonders anspruchsvolle kundenspezifische Anwendungen sind – abhängig von Systemkonzept, Bewegung, Materialien und Schmierung – auch Reinraumklassen bis ISO 2 - 1 möglich.

Die erreichbare Reinraumklasse hängt dabei unter anderem ab von:

  • der gewählten Mechanik und Lagerung
  • den eingesetzten Antriebs- und Messsystemen
  • Materialien, Oberflächenbehandlungen und Schmierstoffen
  • Bewegungsprofilen und Betriebsbedingungen z.B. Einhausung, Absaugung
  • Mehrstufige Reinigungsprozesse, Handling & Kommissionierung

Alle Reinraumsysteme werden entsprechend vorbereitet, montiert und endgereinigt im Reinraum. Auf Anfrage entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, die exakt auf die geforderte Reinraumklasse und Anwendung abgestimmt sind.

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Für Systeme mit Schritt- oder Piezo Motor bieten wir Vakuum-Präparation:

  • Alle Teile vakuumgereinigt
  • Flüssigschmierung mit UHV-Öl für Drücke bis 10-6 mbar
  • Maximale Ausheiztemperatur 80 °C
  • Ausgerüstet mit Phytron-Schrittmotoren
  • Edelstahlkomponenten (Kugelgewindetrieb, Führungen, Lager, Schrauben)
  • Kapton- oder PTFE-Verkabelung
  • Kapton- oder Keramik-Sub-D-Stecker
  • Unbehandelte Aluminiumoberflächen
  • Bohrungen und Kavitäten mit Lüftungslöchern, entlüftete Schrauben oder geschlitzte Scheiben
  • Ohne Abdeckungen
  • Montiert in unserem Reinraum
  • Endgereinigt
  • Lieferung in evakuierter, doppelter Kunststoffverpackung

Klicken Sie hier für mehr Systeme:
Übersicht über unsere Standardachsen

Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung?

Jetzt den ersten 3D Entwurf in nur wenigen Tagen erhalten:

 

Elger Matthes
Beratung, Konzepte, Innovation & Engineering
T +49 351 88585-82
E-Mail

Unsere Referenzen