LA95
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:055.26 (40); 782475:054.26 (80), 782475:016.26 (185)

Präzisions-Linearachse

HV / UHV / UV / DUV, ISO 4, Hub 10 - 185 mm, Repro 0.4 µm, Last 4.5 kg, Speed 8.4 mm/s

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-9 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optionen

Mit oder ohne Messsystem
Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung
Kombierbar zum XYZ-System 3LA95 (OSA) oder mit Drehachsen
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
Optional mit Controller FMC400/450

Anwendungsbereiche

Positionierung für Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik, Ultrahochvakuum, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion, Positioniersystem für Laborinspektion

Spezifikationen

LA95		-40-SM	-40-SM-L	-80-SM	-80-SM-L	-185-SM	-185-SM-L
Verfahrweg	[mm]	40	40	80	80	185	185
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 1.9	± 0.4	± 1.9	± 0.4	± 1.9	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 2.9	± 0.5	± 2.9	± 0.5	± 2.9	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	4.2	4.2	4.2	4.2	4.2	4.2
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	8.4	8.4	8.4	8.4	8.4	8.4
Max. Last Fx	[N]	45	45	45	45	45	45
Max. Last Fy	[N]	40	40	40	40	40	40
Max. Last Fz	[N]	40	40	40	40	40	40
Länge	[mm]	260	260	285	285	410	410
Breite	[mm]	105	105	105	105	95	95
Höhe	[mm]	50	50	50	50	55	55
Gewicht	[kg]	2.6	2.6	3	3	4.5	4.5
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-9
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120	80	120	80	120	80
Motor		Schrittmotor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback		Open Loop	Linearmesssystem	Open Loop	Linearmesssystem	Open Loop	Linearmesssystem
Auflösung Messsystem			0.1 µm, optional bis 0.001 µm		0.1 µm, optional bis 0.001 µm		0.1 µm, optional bis 0.001 µm
Optionale Zusatzausstattung		Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-9 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.