DT130
Vakuum / Reinraum Drehtische

782328:025.26 (with PEEK worm drive)

Selbsthaltender Drehtisch

HV 10E-8 mbar, DUV, ISO 4 | Hub n × 360° | Repro ± 0.003° | Last 4.8 kg | Speed 40°/s

Reinraum: Varianten bis ISO Klasse 4 (höher auf Anfrage)

Strahlung: UV, DUV (EUV, Röntgen und Gamma auf Anfrage)

Vakuum: Hochvakuum bis 10^-8 mbar (höher auf Anfrage)

Schmierung: flüssig bis 10^-8 mbar

Optionen:

Mit oder ohne Apertur
kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Hoher Auflösung und Präzision

Der Drehtisch DT130 ist konzipiert worden, um geringe Lasten präzise zu positionieren. Der Schneckenantrieb garantiert sehr hohe Selbsthaltekräfte in der gewünschten Position und ermöglicht durch die hohe Auflösung gleichzeitig eine hohe Wiederholgenauigkeit.

Anwendungsfelder

Hochpräzise Messtechnik und Kalibrieraufgaben, Halbleiterinspektion, Wafer Handling, optische Justage und Winkelpositionierung, Forschungs- und Entwicklungsaufbauten, Mikroskopie- und Inspektionssysteme, präzise Probenrotation bei geringen Lasten, Mehrachs-Positioniersysteme

Spezifikationen

782328:025.26 (with PEEK worm drive)		-SM
Verfahrweg	[deg]	n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[deg]	± 0.003
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[deg]	± 0.007
Positioniergenauigkeit	[deg]	± 0.007
Positioniergeschwindigkeit	[deg/s]	27
Max. Geschwindigkeit	[deg/s]	40
Max. Last Fz	[N]	47
Max. Lastmoment Mx, My	[Nm]	0.5
Länge	[mm]	200
Breite	[mm]	130
Höhe	[mm]	45
Drehteller Ø	[mm]	100
Apertur Ø	[mm]	25
Gewicht	[kg]	2.0
Schmierung flüssig	[mbar]	10E-8
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Lager		Präzisionskugellager
Motor		Schrittmotor
Antrieb		Schneckenantrieb
Feedback		Motorencoder
Oberfläche		Aluminium eloxiert, Nickel, blank
Optionale Zusatzausstattung		kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraumklasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen und Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum		bis 10^-8 mbar Hochvakuum (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.