MT95-SM
Miniatur-Lineartische

Lineartisch 95 x 95 x 40 mm, Hub bis 40 mm, Repro ± 2.1 µm, Last 3 kg, Speed 11.6 mm/s

Kompakter Positionierer mit innen liegendem Motor

Der Miniatur-Lineartisch MT95 erreicht mit Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb wird mit einem Zahnriemengetriebe umgelenkt und kann so vollständig im Positioniertisch untergebracht werden.

Ideal für kleine Bauräume (95 x 95 x 40 mm)

Wiederholgenauigkeit bis 2.1 µm

Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen

Optionen:

Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP95-3
Ausführung für Reinraum und Vakuum auf Anfrage

Anwendungsfelder

Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Inkubatoren, Faserpositionierung, Kamera- und Mikroskop-Positionierer, Aligner für Vakuum-Kammern, Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Prober Justage

Spezifikationen

MT95		-40-SM
Verfahrweg	[mm]	40
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.1
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4.1
Positioniergenauigkeit	[µm]	± 5.4
Ebenheitsabweichung	[µm]	± 2
Geradheitsabweichung	[µm]	± 1.4
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5.8
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	11.6
Max. Beschleunigung	[m/s²]	0.1
Max. Last Fx	[N]	30
Max. Last Fy	[N]	65
Max. Last Fz	[N]	65
Max. Lastmoment Mx	[Nm]	3.2
Max. Lastmoment My	[Nm]	1.3
Max. Lastmoment Mz	[Nm]	1.1
Nicken	[µrad]	± 65
Gieren	[µrad]	± 40
Länge	[mm]	95
Breite	[mm]	95
Höhe	[mm]	40
Gewicht	[kg]	0.8
Spindeltyp		Gleitgewindetrieb M8x0,5.8.64.84
Spindelsteigung		0.5
Führung		Kreuzrolle
Motor		Schrittmotor
Feedback		Open Loop
Material		Aluminium eloxiert
Zusatzausstattung		Hochauflösendes Messsystem, Erweiterung zum XYZ-R-System, Bremse, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 5 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		auf Anfrage
Varianten Vakuum		auf Anfrage

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.