MT95-SM
Miniatur-Lineartische
Lineartisch 95 x 95 x 40 mm, Hub bis 40 mm, Repro 2.1 µm, Last 6 kg, Speed 11 mm/s
Kompakter Positionierer mit innen liegendem Motor
Der Miniatur-Lineartisch MT95 erreicht mit Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb wird mit einem Zahnriemengetriebe umgelenkt und kann so vollständig im Positioniertisch untergebracht werden.
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Optionen:
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Anwendungsfelder
Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Inkubatoren, Faserpositionierung, Kamera- und Mikroskop-Positionierer, Aligner für Vakuum-Kammern, Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Prober Justage
MT95 | -40-SM | |
Verfahrweg | [mm] | 40 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 2.1 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 4.1 |
Positioniergenauigkeit | [µm] | ± 5.4 |
Ebenheitsabweichung | [µm] | ± 2 |
Geradheitsabweichung | [µm] | ± 1.4 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5.8 |
Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 11.6 |
Max. Beschleunigung | [m/s2] | 0.1 |
Max. Last Fx | [N] | 30 |
Max. Last Fy | [N] | 65 |
Max. Last Fz | [N] | 65 |
Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 3.2 |
Max. Lastmoment My | [Nm] | 1.3 |
Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 1.1 |
Nicken | [µrad] | ± 65 |
Gieren | [µrad] | ± 40 |
Länge | [mm] | 95 |
Breite | [mm] | 95 |
Höhe | [mm] | 40 |
Gewicht | [kg] | 0.8 |
Spindeltyp | Gleitgewindetrieb M8x0,5.8.64.84 | |
Spindelsteigung | 0.5 | |
Führung | Kreuzrolle | |
Motor | Schrittmotor | |
Feedback | Open Loop | |
Material | Aluminium eloxiert | |
Zusatzausstattung | Hochauflösendes Messsystem, Erweiterung zum XYZ-R-System, Bremse, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | |
Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 5 (höher auf Anfrage) | |
Varianten Strahlung | UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |
Varianten Magnetismus | auf Anfrage | |
Varianten Vakuum | auf Anfrage |
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