MT130-SM
Miniatur-Lineartische

Lineartisch 130 x 130 x 43 mm, Hub 50 - 80 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 4.5 kg, Speed 40 mm/s

Kompakter Lineartisch mit innen liegendem Motor

Der Miniatur-Lineartisch erreicht mit spielfreien Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb ist vollständig im hochkompakten Positioniersystem untergebracht.

Hübe bis 80 mm in kleinen Bauräumen (130 x 130 x 43 mm)

Wiederholgenauigkeit bis 2.3 µm

Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen

Optionen:

Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3
Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130
Edelstahlausführung für erhöhte Steifigkeit
Ausführung für Reinraum, Vakuum und EUV

Anwendungsfelder

Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Kamera, Mikroskop (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage

Spezifikationen

MT130		-50-SM	-80-SM
Verfahrweg	[mm]	50	80
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.3	± 2.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4.3	± 4.3
Positioniergenauigkeit	[µm]	± 8.1	± 9.7
Ebenheitsabweichung	[µm]	± 2.5	± 4
Geradheitsabweichung	[µm]	± 1.8	± 2.8
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	20	20
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	40	40
Max. Beschleunigung	[m/s²]	0.4	0.4
Max. Last F_x	[N]	45	45
Max. Last F_y	[N]	95	95
Max. Last F_z	[N]	95	95
Max. Lastmoment M_x	[Nm]	4.6	4.6
Max. Lastmoment M_y	[Nm]	1.8	1.8
Max. Lastmoment M_z	[Nm]	1.6	1.6
Nicken	[µrad]	± 70	± 90
Gieren	[µrad]	± 40	± 55
Gewicht	[kg]	1.8	2.3
Länge	[mm]	130	130
Breite	[mm]	130	130
Höhe	[mm]	43	43
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor
Feedback		Open Loop	Open Loop

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.