LA340-EDLM
Linearachsen

High Performance Stage (Luftlager), Hub 500 - 2000 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 3090 mm/s
LA340-EDLM

 

Hochdynamische Linearachse mit Luftlager

Das Antriebskonzept dieser Linearachse basiert auf einem dynamischen Linearmotor und einem linearen Messsystem, wodurch sie hervorragende Werte in Ebenheit und Geradheit für hochdynamische Anwendungen erreicht. Durch den Granitaufbau mit Luftlagerung wird ein partikelfreier Betrieb sowie eine besonders lange Lebensdauer gewährleistet.

  • Ideal für partikelfreie, hochdynamische Anwendungen mit hoher Präzision
  • Perfekte Ebenheit und hohe Wiederholgenauigkeit bis ± 0.3 µm
  • Hohe Dynamik bei Geschwindigkeiten bis 2060 mm/s
  • Sehr hohe Belastbarkeit bis 50 kg
  • Ausgelegt für den wartungsfreien 3-Schicht-Betrieb im Reinraum

Optionen:

  • Verfahrwege von 500 - 2000 mm
  • Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion
  • Wahlweise mit Grundplatte und Gestell
  • Verschiedene Messsystemauflösungen bis 0,001 µm
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Aufbau von dynamischen und hochpräzisen Mehrachssystemen für Reinraumanwendungen, Halbleitertechnik: Waferinspektion, Vermessung großer Substrate, TFT / OLED Inspektion, Halbleiterdrucker zum Aufbringen von Schichtkomponenten, Biotechnologie: Labordiagnostik, bildbasiertes Inline-Monitoring, High-Speed-Mikroskopie, Laborautomation, Lineartisch für das Präzisionsscannen

 

LA340-EDLM   -500-EDLM-L -1000-EDLM-L -1500-EDLM-L -2000-EDLM-L
Verfahrweg [mm]  500 1000 1500 2000
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 0.3 ± 0.3 ± 0.3 ± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 0.4 ± 0.4 ± 0.4 ± 0.4
Positioniergenauigkeit [µm] ± 1.9 ± 3 ± 4.1 ± 5.2
Ebenheitsabweichung [µm] ± 0.8 ± 1.5 ± 2.3 ± 3
Geradheitsabweichung [µm] ± 0.8 ± 1.5 ± 2.3 ± 3
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 790 1210 1630 2060
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 1185 1815 2445 3090
Max. Beschleunigung [m/s2] 16 25 35 40
Max. Last Fx [N] 100 100 100 100
Max. Last Fy [N] 500 500 500 500
Max. Last Fz [N] 500 500 500 500
Max. Lastmoment Mx [Nm] 30 30 30 30
Max. Lastmoment My [Nm] 50 50 50 50
Max. Lastmoment Mz [Nm] 30 30 30 30
Nicken [µrad] ± 11 ± 16 ± 19 ± 20
Gieren [µrad] ± 11 ± 16 ± 19 ± 20
Länge [mm] 1060 1560 2060 2560
Breite [mm] 379 379 379 379
Höhe [mm] 310 310 310 310
Gewicht [kg] 370
Gewicht mit Gestell [kg] 640
Führung   Luftlager
Antrieb   Linearmotor
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenlos)
Feedback   Linearmesssystem
Messsystem Auflösungen   0.05 µm (optional bis zu 0.001 µm)
Material    Aluminium eloxiert, Granit
Optionale Zusatzausstattung   Gestell
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    auf Anfrage
Varianten Vakuum    auf Anfrage

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.


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