MT53-PM
Miniatur-Lineartische
Lineartisch 53 x 53 x 20 mm, Hub bis 10 mm, Repro ± 0.2 µm, Last 0.5 kg, Speed 10 mm/s
Hochauflösender Mikrotisch
Der kleinste Tisch im Produktportfolio von Steinmeyer Mechatronik überzeugt durch höchste Auflösungswerte. Mit seiner miniaturisierten Bauform ist er ideal für Anwendungen mit geringem Platzbedarf und hohen Ansprüchen an Stabilität.
Submikrometer Schrittweiten dank Piezomotor
Ausgestattet ist der MT53 mit Kreuzrollenführungen und einem Piezoantrieb, welcher Schrittweiten im Nanometerbereich ermöglicht. In der Vakuum- und nicht-magnetischen Version ist dieser Mikrotisch perfekt geeignet für Anwendungen in anspruchsvollen Umgebungen. Wiederholgenauigkeiten von +- 0.005µm sind mit entsprechendem Linearmesssystem möglich.
Ideal für Mikrobearbeitung und Mikromontage
Der MT53 findet seinen Einsatz insbesondere in Applikationen der Mikrobearbeitung und Mikromontage. Auch für Anwendungen in Forschung und Entwicklung oder in der Halbleiterindustrie lässt er sich ideal einsetzen.
| Modell MT53 | -10-PM- L | |
| Verfahrweg | [mm] | 10 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [μm] | ± 0.2 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [μm] | ± 0.3 |
| Positioniergenauigkeit | [μm] | ± 0.8 |
| Ebenheitsabweichung | [μm] | ± 0.5 |
| Geradheitsabweichung | [μm] | ± 0.4 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 |
| Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 10 |
| Max. Beschleunigung | [m/s2] | 0.1 |
| Max. Last Fx | [N] | 5 |
| Max. Last Fy | [N] | 8.8 |
| Max. Last Fz | [N] | 8.8 |
| Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 0.2 |
| Max. Lastmoment My | [Nm] | 0.09 |
| Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 0.07 |
| Nicken | [µrad] | ± 30 |
| Gieren | [µrad] | ± 19 |
| Auflösung | [µm] | 0.1 |
| Gewicht | [kg] | 0.1 |
Verwandte Produkte
Nahezu alle hier dargestellten atmosphärischen Standard-Drehtische sind optional uneloxiert und mit UHV-geeigneter Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar verfügbar. In dieser Ausführung erreichen sie mindestens Reinraumklasse ISO 6 – oder besser – und eignen sich damit auch für anspruchsvollere Umgebungen.
Für höhere Anforderungen stehen speziell ausgelegte Drehtisch-Varianten zur Verfügung, beispielsweise für Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlungsumgebungen.
Die Vakuum-Drehtische sind konstruktiv besonders auf hohe axiale und radiale Lasten ausgelegt. Verstärkte Lagerkonzepte, angepasste Werkstoffauswahl sowie vakuumgeeignete Schmier- und Beschichtungssysteme ermöglichen stabile Rotation auch bei hohen Nutzlasten und großen Massenträgheiten.
Übersicht Reinraum & Vakuum Drehtische Technischen Berater kontaktieren
Materialien für Drehtische
Steinmeyer Mechatronik verwendet für die Struktur von Drehtischen überwiegend Aluminium. Dieses Material bietet ein optimales Verhältnis aus Gewicht, Steifigkeit und thermischer Leitfähigkeit – entscheidend für präzise Rundlauf- und Wiederholgenauigkeit.
Aluminium leitet lokale Erwärmungen, beispielsweise durch Motorverluste oder Lagerreibung, effizient ab. Dadurch erreicht der Drehtisch schnell einen thermisch stabilen Zustand – eine wesentliche Voraussetzung für konstante Winkelgenauigkeit bei Dauerbetrieb oder Hochdynamik.
Die geringere Steifigkeit von Aluminium im Vergleich zu Stahl wird konstruktiv kompensiert, beispielsweise durch:
- Verstärkte Gehäuse- und Lagerstrukturen
- Optimierte Wandstärken und Bauhöhen
- Hohlprofilkonstruktionen mit hoher Torsionssteifigkeit
Für spezielle Anforderungen – etwa hohe Belastungen, vakuumtaugliche Ausführungen oder magnetfeldkritische Anwendungen – sind alternativ Stahl- oder Titan-Varianten möglich.
Funktionale Oberflächen und Beschichtungen für Drehtische
Neben Standardoberflächen stehen zahlreiche kundenspezifische Beschichtungs- und Oberflächenkonzepte zur Verfügung. Diese sind gezielt darauf ausgelegt, sehr hohe Reinraumklassen – bis ISO 1–2, abhängig von Anwendung und Prozess – zu erreichen.
Zur Erfüllung anspruchsvoller Prozessanforderungen entwickeln und qualifizieren wir applikationsspezifische Funktionsbeschichtungen, unter anderem:
- Nickel-Beschichtungen
- PTFE- & KEPLA®-Beschichtungen
- Fluorierte Schmierstoffe
- Dicronite® / Dry-Film-Beschichtungen
- Applikationsspezifische Beschichtungskombinationen
Darüber hinaus sind verfügbar:
- Eloxiert (gereinigt)
- Alternative Farb-Eloxale
- Aluminium blank, gereinigt
- Bilatal
- Nickel
Diese Oberflächen eignen sich insbesondere für:
- Hohe Reinheitsanforderungen im Reinraum
- Vakuumanwendungen
- Chemisch aggressive Umgebungen (z. B. Life Science)
- Optische Systeme mit Streulichtanforderungen
Warum Funktionsbeschichtungen bei Drehtischen entscheidend sind (Vorher → Nachher)
- Standardoberfläche → EUV-taugliche Oberfläche
- Reflektierend → Nicht reflektierend, minimiertes Streulicht
- Standard-Gleitverhalten → Optimierte Reibwerte & reduzierter Verschleiß
- Basisschutz → Erhöhte chemische & korrosive Beständigkeit
- Standardausführung → Applikationsoptimierte Performance
Sonderoberflächen sind häufig erforderlich für UV / DUV / EUV-Anwendungen (Röntgen- oder Gamma-Anwendungen auf Anfrage).
Ja. Unsere Drehtische lassen sich modular mit linearen, XY- oder XYZ-Stages kombinieren und zu kompakten Mehrachssystemen (z. B. XYZ-R oder Theta-Z) aufbauen. Entsprechende mechanische Schnittstellen sind hierfür bereits vorgesehen.
Typische Konfigurationen
- XY + R → Kompakte Rotations- und Positioniersysteme
- XYZ + R → 4-Achs-Positionierung
- Theta-Z → Kombinierte Rotations- und Hubbewegung
- Parallelkinematische Aufbauten → Für Active-Alignment-Anwendungen
Vorteile der Kombination
- Hohe Systemflexibilität
- Modulare Erweiterbarkeit
- Platzsparende Integration
- Präzise Koordination von Rotation und Translation
Technische Voraussetzungen
- Abgestimmte mechanische Schnittstellen (Bohrbild / Zentrierung)
- Ausgelegte Tragfähigkeit des Drehtisches für zusätzliche Achsen (Fx, Fy, Fz)
- Berücksichtigung von Massenträgheit und Schwerpunktlage
- Synchronisierte Regelung aller Achsen
Wir beraten Sie gern – schnell und unverbindlich:
Für Drehtische bietet Steinmeyer Standard-Motion-Controller, SPS-Integration sowie kundenspezifische Embedded-Lösungen. Die Steuerung kann – abhängig von Drehmoment, Dynamik und Einbausituation – extern im Schaltschrank oder vollständig integriert im Drehtischmodul realisiert werden.
Übersicht Motion Controller & Steuerungskonzepte
Systemarchitektur – optimiert für Rotationsachsen
Die Steuerungslösungen für Drehtische werden applikationsspezifisch ausgewählt und exakt auf Antriebskonzept (z. B. Torque-Direktantrieb oder Getriebeantrieb), Winkelmesssystem sowie Umgebungsbedingungen abgestimmt. Besonderes Augenmerk liegt auf Rundlaufgenauigkeit, Synchronisation und thermischer Stabilität.
Standard-Motion-Controller
- Für Einzel-Drehtische oder rotative Mehrachssysteme (z. B. XYZ-R)
- Parametrierbare Regelkreise (Position / Drehzahl / Drehmoment)
- Hochauflösende Winkelrückführung
- Feldbus-Schnittstellen (z. B. EtherCAT, PROFINET)
- Schnelle Inbetriebnahme und Feinabstimmung
Typische Anwendung: Präzisions-Drehtische mit Torque-Motor, Direktantrieb oder getriebebasierter Rotation.
SPS-Integration
- Einbindung in bestehende Maschinen- oder Anlagensteuerungen
- Übergeordnete Anlagenlogik über kundenseitige SPS
- Synchronisation mit Linearachsen oder Gantry-Systemen
- Standardisierte industrielle Kommunikationsprotokolle
Typische Anwendung: OEM-Anlagen, Inspektionssysteme, Halbleiter- oder Montageanlagen.
Kundenspezifische Embedded-Lösungen
- Kompakte, applikationsoptimierte Controller für Drehtischmodule
- Integrierte Leistungsendstufen für Torque- oder Servomotoren
- Reduzierter Verkabelungsaufwand
- Optimiert für Reinraum-, Vakuum- oder Hochdynamik-Anwendungen
Typische Anwendung: Hochintegrierte Rotationssysteme mit begrenztem Bauraum oder erhöhten Anforderungen an Dynamik und Präzision.
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