MT130-3-3 Miniatur-6-Achs-Aligner, kartesische Linearanordnung mit euzentrischer Drehverstellung | Hub XYZ 50 x 50 x 50 mm, Rxyz 4 x 4 x 4°
XYZ Tip-Tilt System

782474:003.26

Hochkompakter 6-Achs-Aligner

Dieser Manipulator kombiniert die linearen Bewegungen des MP130 mit weiteren drei rotativen Bewegungen von ± 2 Grad.

µm-Präzision durch die hohe Steifigkeit

gute Ablaufwerte

minimaler Reibungswiderstand durch Kreuzrollenführung

Optionen:

Wahlweise mit Schrittmotor
Zusätzliche Probenhalterung und Drehtisch
Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Hochkompakte Ausrichtung in 6 Freiheitsgraden z.B. Faserjustage, Mikrobearbeitung und Mikromontage, in der Forschung und Entwicklung, Sondermaschinenbau, Ausrichtung optischer Komponenten/Bauteile, automatisierte Wafer-Tests, Aufbau-und Verbindungstechniken in der Siliziumphotonik

Spezifikationen

MP130-3-3		X	Y	Z	Rx	Ry	Rx
Standard System		MP130-DC	MP130-DC	MP130-DC
Verfahrweg	[mm; deg]	50	50	50	4	4	4
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 2.5	± 2.5	± 2.5	± 0.0015	± 0.0015	± 0.0015
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 4.5	± 4.5	± 4.5	± 0.0025	± 0.0025	± 0.0025
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	30	30	30	2	2	2
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	60	60	60	4	4	4
Max. Last	[N]				5	5	5
Länge x Breite x Höhe	[mm]	288 x 180 x 185
Gewicht	[kg]	15
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1214.527/2.8.78.103 P3P, Riemen			Exzenter
Steigung		2 mm
Führung		Kreuzrolle
Motor		DC-Motor
Feedback		Motor-Encoder
Material		Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		wahlweise mit Schrittmotor (Wiederholgenauigkeit unidirektional ± 2.3 µm / bidirektional ± 4.3 µm), Probenhalter, Drehtisch, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum		bis 10E-6 mbar (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Passende Controller

FMC400/450

Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.

SPS

Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff

Verwendete Standard Komponenten

MT130-DC

Linear Stage 130 x 130 x 43 mm, Travel 50 - 80 mm, Rep ± 2.3 µm, Load 9 kg, Speed 40 mm/s

KGT 1214

Zylindermutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung

Verwandte Produkte

MP130-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | DC-Motor/ Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Repro ± 2.3 µm | Hub 50 x 50 x 50 mm

MP105-3

MP53-3-PM

MP70-3

MP53-2-1 Miniatur-XY-Phi-Positioniersystem, kartesisch mit Rz-Korrektur, magnetfrei | XY-Rz Piezomotor, Linearmesssystem

MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm

MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod | Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Hub 2 mm x 1.5° x 1.5°

MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ DC-Motor / Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Repro ± 0.8 µm | Hub 25 x 25 x 25 mm

MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 2 x 2 x 2 mm, Ryz 1.5 x 1.5°

MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro ± 0.2 µm | Hub 10 x 10 x 10 mm

MP95-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Linearmesssystem | Repro ± 1.5 µm | Hub 40 x 40 x 40 mm

5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, Tripod auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 100 x 100 mm, Z 4 mm, Rx Ry 4°

MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm Rx Ry 4° | hohe Last bis 10 kg

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Achskombinationen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Stages Technischen Berater kontaktieren

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Mehrachsigen Positioniersystemen, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genau Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Tische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch!
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
Piezomotoren wie Piezo-Legs^® oder Nanomotion^®.

Als Feedback-System werden in den meisten Mehrachs-Positioniersystemen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur^® bzw. Zeromet^® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.