Probenmanipulator
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
782442:001.26
Hier arbeiten 12 Piezomotoren in Paaren und realisieren einen kartesischen Probenmanipulator mit 6 Freiheitsgraden. Als Sensoren kommen kapazitive Systeme zur Anwendung. Die Piezoaktoren wirken auf Keramikstäbe, welche in gespannten Seilen hängen. Stellinkremente im Nanometer-Bereich wurden realisiert.
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