MT105
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782325:142.24, 782325:141.24, 782325:040.24

Mikrotisch

UHV 10E-11 mbar, EUV, ISO 4 | Hub 30 – 50 mm | Repro 0.4 µm | Last 5 kg | Speed 7.5 - 75 mm/s

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10^-11 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optional konfigurierbar:

Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
Mit bis zu 2 verschiedenen Motoren für die Bewegung hoher Lasten
Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion, Piezo Motor oder Linearmotor
Kombinierbar zum XYZ Positioniersystem
Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotatorische Anwendungen
Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Optional mit Controller FMC400/450

Anwendungsbereiche

Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Kamerajustage, Sensorjustage, Bioprinting, Hochdurchsatz-Herstellung dreidimensionaler Zellsphäroide

Referenzen

Bioprinting-Based High-Throughput Fabrication of Three-Dimensional MCF-7 Human Breast Cancer Cellular Spheroids | Engineering (2015) Vol.1 Issue (2): 269-274 | https://www.engineering.org.cn/EN/10.15302/J-ENG-2015062

Spezifikationen

MT105		-30-2PM-L	-50-PM-L	-30-2-LM-L	-30-2XLM-L	-50-LM-L	-50-XLM-L
Verfahrweg	[mm]	30	50	30	30	50	50
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.2	± 0.2	± 0.4	± 0.4	± 0.4	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.3	± 0.3	± 0.5	± 0.5	± 0.5	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5	50	50	50	50
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	7.5	7.5	75	75	75	75
Max. Last Fx	[N]	20	10	48	85	24	48
Max. Last Fy	[N]	55	55	55	85	55	55
Max. Last Fz	[N]	55	55	55	55	55	55
Länge	[mm]	152
Breite	[mm]	105
Höhe	[mm]	25
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[°C]	120
Motor		Piezo Motor	Piezo Motor	Nanomotion	Nanomotion	Nanomotion	Nanomotion
Lager		Kreuzrollenlager Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0.1 µm, optional 0.005 µm
Optional features		Ausführung mit bis zu zwei unterschiedlichen Motoren zur Bewegung hoher Lasten, kundenspezifische fluorfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Reinraum Varianten		bis Reinraumklasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Beam variants		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.