KDT310-SM-HV
Vakuum / Reinraum Kreuztische

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KDT310-SM-HV - Vakuum / Reinraum Kreuztische

 

Präziser Schwerlast-Kreuztisch

HV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub 100 x 100 mm, Repro bis 0.7 µm, Speed 20 mm/s, Last bis 20 kg

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV bis 10-8 mbar
  • Schmierung: flüssig bis 10-8 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 100°C
  • Durchlicht in X mit 90 x 90 mm, Y 150 x 150 mm
Optional konfigurierbar:
  • Mit und ohne Messsystem
  • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT155) für rotatorische Anwendungen
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
  • Optional mit Controller FMC400/450
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Hochbelastbares XY-Durchlichtsystem

Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum kombiniert. Sein Konzept mit Profilschienenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums.

Er lässt sich einfach mit dem Drehtisch DT155 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben.
 

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik,  Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

 

KDT310 -100-SM-100-SM-L
Standard System LT310LT310
Verfahrweg[mm] 100 x 100100 x 100
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 1.6± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 2.1± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]1010
Max. Geschwindigkeit[mm/s]2020
Max. Last Fx[N]196196
Max. Last Fy[N]196196
Länge[mm]310310
Breite[mm]310310
Höhe[mm]100100
Apertur X[mm]90 x 90
Apertur Y[mm]150 x 150
Gewicht[kg]17
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Max. Ausheiztemperatur[deg]100
Spindeltyp Kugelgewindetrieb 1214.545/1.8.138.188R P3P
Spindelsteigung 1
Führung Profilschiene
Motor Schrittmotor
Feedback Open LoopLinearmesssystem
Messsystem Auflösung  ohne0.05 µm, optional bis zu 0.001 µm
Optionale Zusatzausstattung Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-8 mbar HV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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