MT105-PM
Miniatur-Lineartische

Lineartisch 152 x 105 x 25 mm, Hub 30 - 100 mm, Repro ± 0.2 µm, Last 1 kg, Speed 7.5 mm/s

Mikrotisch mit hoher Dynamik und Geschwindigkeit

Der MT105 ist ein universell einsetzbarer Mikrotisch, der vor allem durch seine hohe Dynamik und Geschwindigkeit überzeugt. Gemessen an seiner Größe verfügt er über einen großen Verfahrweg und ermöglicht dank seines Piezomotors kleinste Schrittweiten.

Flexibel und universell

Ausgestattet ist der MT105 mit Kreuzrollenführungen. Optional besteht die Möglichkeit, den Mikrotisch mit zwei Motoren auszustatten, um höhere Lasten zu positionieren. Gleichzeitig lässt sich der Tisch mühelos zu einer XYZ-Anwendung kombinieren.

Optimal für anspruchsvolle Umgebungsbedingungen

Der Mikrotisch MT105 ist dafür ausgelegt unter extremen Bedingungen, wie im Hochvakuum, im Ultra-Hochvakuum und für nicht-magnetische Anwendungen, hervorragende Ablauf- und Positioniergenauigkeiten zu erreichen.

Spezifikationen

Modell MT105		-30-2PM-L	-50-PM-L
Verfahrweg	[mm]	30	50
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[μm]	± 0.2	± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[μm]	± 0.3	± 0.3
Positioniergenauigkeit	[μm]	± 1.2	± 1.4
Ebenheitsabweichung	[μm]	± 1.5	± 2.5
Geradheitsabweichung	[μm]	± 1.1	± 1.8
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	7.5	7.5
Max. Beschleunigung	[m/s²]	0.1	0.1
Max. Last F_x	[N]	40	20
Max. Last F_y	[N]	55	55
Max. Last F_z	[N]	55	55
Max. Lastmoment M_x	[Nm]	2	2
Max. Lastmoment M_y	[Nm]	0.9	0.9
Max. Lastmoment M_z	[Nm]	0.7	0.7
Nicken	[µrad]	± 55	± 70
Gieren	[µrad]	± 35	± 40
Länge	[mm]	152
Breite	[mm]	105
Höhe	[mm]	25
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Piezo Motor	Piezo Motor
Führung		Kreuzrolle
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0.1 µm, optional 0.005 µm
Optionale Zusatzausstattung		Mit bis zu 2 verschiedenen Motoren für die Bewegung hoher Lasten, Nanomotion-Motorausstattung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.